Study on formation mechanism on super lattices produced by radical-excited-room-temperature-atomic-layer deposition
自由基激发室温原子层沉积超晶格形成机制研究
基本信息
- 批准号：23H00098
- 负责人：
- 金额：$ 29.62万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- 财政年份：2023
- 资助国家：日本
- 起止时间：2023-04-01 至 2027-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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平野 愛弓
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21H02024 - 财政年份：2021
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Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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21H05010 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 29.62万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
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- 批准号：
20J10869 - 财政年份：2020
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$ 29.62万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows