Room temperature bonding in air for heterogeneous optical integration

用于异构光学集成的室温空气粘合

基本信息

  • 批准号:
    18K18863
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.99万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 财政年份:
    2018
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2018-06-29 至 2021-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(3)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
大気中低温接合技術による光導波路集積
采用常压低温键合技术的光波导集成
Surface Activated Bonding of LiNbO3 and GaN at Room Temperature
LiNbO3 和 GaN 室温下的表面活化键合
  • DOI:
    10.1149/08605.0207ecst
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ryo Takigawa;Eiji Higurashi and Tanemasa Asano
  • 通讯作者:
    Eiji Higurashi and Tanemasa Asano
Residual Stress in Lithium Niobate Film Layer of LNOI/Si Hybrid Wafer Fabricated Using Low-Temperature Bonding Method
  • DOI:
    10.3390/mi10020136
  • 发表时间:
    2019-02-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
    3.4
  • 作者:
    Takigawa, Ryo;Tomimatsu, Toru;Asano, Tanemasa
  • 通讯作者:
    Asano, Tanemasa
Surface activation of Au films using vacuum ultraviolet irradiation for low-temperature bonding in air
利用真空紫外辐射对金膜进行表面活化,用于空气中的低温键合
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ryo Takigawa;Haruichi Kanaya
  • 通讯作者:
    Haruichi Kanaya
接合中間層がLNOI光導波路特性に及ぼす影響調査
结中间层对LNOI光波导特性影响的研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    多喜川良;日暮栄治;浅野種正
  • 通讯作者:
    浅野種正
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Secondary-side-only Phase-shifiting Voltage Stabilization Control by One Converter for WPT Systems with Constant Power Load
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  • 期刊:
  • 影响因子:
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  • 作者:
    Takigawa Ryo;Utsumi Jun;Giorgio Lovison,Takehiro Imura,Hiroshi Fujimoto,Yoichi Hori
  • 通讯作者:
    Giorgio Lovison,Takehiro Imura,Hiroshi Fujimoto,Yoichi Hori
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Utsumi Jun;Takigawa Ryo;佐竹うらら,榎本俊之
  • 通讯作者:
    佐竹うらら,榎本俊之
ライフサイエンス大規模データ解析に向けたコンピュテーショナル・ストレージ
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Takakura Ryo;Murakami Seigo;Watanabe Kaname;Takigawa Ryo;田中陽一郎
  • 通讯作者:
    田中陽一郎
Investigation of the interface between LiNbO3 and Si fabricated via room-temperature bonding method using activated Si nano layer
研究使用活化的硅纳米层通过室温键合方法制造的 LiNbO3 和 Si 之间的界面
  • DOI:
    10.35848/1347-4065/acc2cb
  • 发表时间:
    2023
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Murakami Seigo;Watanabe Kaname;Takigawa Ryo
  • 通讯作者:
    Takigawa Ryo
Bonding of LiNbO3 and Si wafers at room temperature using Si nanolayers
使用 Si 纳米层在室温下键合 LiNbO3 和 Si 晶圆
  • DOI:
    10.35848/1347-4065/abf2d3
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Watanabe Kaname;Utsumi Jun;Takigawa Ryo
  • 通讯作者:
    Takigawa Ryo

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  • 批准号:
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  • 财政年份:
    2015
  • 资助金额:
    $ 3.99万
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    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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使用分层金属薄膜进行多相键合的 3D 晶圆级封装
  • 批准号:
    25289242
  • 财政年份:
    2013
  • 资助金额:
    $ 3.99万
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    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
極薄金属膜の均質酸・窒化プロセスと高性能強磁性トンネル接合膜への応用に関する研究
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    03J06862
  • 财政年份:
    2003
  • 资助金额:
    $ 3.99万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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