Fabrication of Lithium Niobate waveguides using ultra-precision ductile-mode cutting method
采用超精密延性模切割法制造铌酸锂波导
基本信息
- 批准号：15K18055
- 负责人：
- 金额：$ 2.66万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份：2015
- 资助国家：日本
- 起止时间：2015-04-01 至 2017-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（9）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Investigation of the bonding interface of LiNbO3 and Si wafers bonded by laser irradiation
激光辐照键合 LiNbO3 和 Si 晶片键合界面的研究
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：Ryo Takigawa;Hiroki kawano;Hiroshi Ikenoue;and Tanemasa Asano
- 通讯作者：and Tanemasa Asano
LiNbO3/Si hybrid wafer bonded in ambient air using laser irradiation
使用激光照射在环境空气中粘合 LiNbO3/Si 混合晶圆
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Ryo Takigawa;Hiroki Kawano;Hiroshi Ikenoue;and Tanemasa Asano
- 通讯作者：and Tanemasa Asano
Surface activated wafer bonding of LiNbO3 and SiO2/Si for LNOI on Si
用于 Si 上 LNOI 的 LiNbO3 和 SiO2/Si 的表面活化晶圆键合
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Ryo Takigawa;Eiji Higurashi;Tanemasa Asano
- 通讯作者：Tanemasa Asano
Bonding of LiNbO3 thin film on Si substrate using laser irradiation
使用激光照射将 LiNbO3 薄膜键合到 Si 基板上
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Hiroki Kawano;Ryo Takigawa;Hiroshi Ikenoue;and Tanemasa Asano
- 通讯作者：and Tanemasa Asano
Demonstration of ultraprecision ductile-mode cutting for lithium niobate microring waveguides
- DOI：10.7567/jjap.55.110304
- 发表时间：2016-11
- 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：R. Takigawa;E. Higurashi;T. Kawanishi;T. Asano
- 通讯作者：R. Takigawa;E. Higurashi;T. Kawanishi;T. Asano
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佐竹うらら，榎本俊之
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- 发表时间：
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田中陽一郎
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- 影响因子：1.5
- 作者：
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Takigawa Ryo
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- DOI：
10.35848/1347-4065/abf2d3 - 发表时间：
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- 影响因子：1.5
- 作者：
Watanabe Kaname;Utsumi Jun;Takigawa Ryo - 通讯作者：
Takigawa Ryo
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- 批准号：
22KJ2706 - 财政年份：2023
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Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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$ 2.66万 - 项目类别：
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22K14490 - 财政年份：2022
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$ 2.66万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
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