Highly Stable Normally-off GaN-based transistors via Structures and Process

通过结构和工艺实现高度稳定的常关型 GaN 晶体管

• 批准号: 19K04528
• 负责人: Asubar Joel
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: University of Fukui
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2019
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2019-04-01 至 2022-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19K04528/
• 关键词: Gallium nitride; normally-off operation; power device; semiconductor; AlGaN/GaN HEMT; MIS; Insulated Gate; Normally-off; Hi-K dielectric; AlGaN; GaN; HEMT; 窒化ガリウム; 再成長; ドライエッチング; ノーマリーオフ; エンハンスメントモード; リセスゲート; MIS-HEMT; Insulated-Gate

项目成果

Recessed gate GaN-based MIS-HEMTs with Al2O3 gate dielectric deposited by mist-CVD method

采用喷雾 CVD 法沉积 Al2O3 栅介质的凹栅 GaN 基 MIS-HEMT

• 发表时间: 2021
• 作者: M. Ishiguro;S. Urano;R. S. Low;M. Faris;I. Nagase;A. Baratov;J. T. Asubar;T. Motoyama;Y. Nakamura;Z. Yatabe;M. Kuzuhara
• 通讯作者: M. Kuzuhara

Mist chemical vapor deposited-Al2O3/AlGaN interfacial characterization for GaN MIS-HEMTs

GaN MIS-HEMT 的雾化学气相沉积-Al2O3/AlGaN 界面表征

• 发表时间: 2021
• 作者: T. Motoyama;Z. Yatabe;Y. Nakamura;A. Baratov;R. S. Low;S. Urano;J. T. Asubar;M. Kuzuhara
• 通讯作者: M. Kuzuhara

Recent progress in Normally-off GaN-based transistors

常关型 GaN 晶体管的最新进展

• 发表时间: 2019
• 作者: Joel T. Asubar;Shinsaku Kawabata;Hirokuni Tokuda;Akio Yamamoto;and Masaaki Kuzuhara
• 通讯作者: and Masaaki Kuzuhara

5. Electrical properties of GaN-based MIS-HEMTs with Al2O3 gate insulator deposited by ALD and mist-CVD techniques

5. ALD 和雾气 CVD 技术沉积 Al2O3 栅极绝缘体的 GaN 基 MIS-HEMT 的电学特性

• DOI: 10.1109/imfedk53601.2021.9637639
• 发表时间: 2021
• 期刊: 2021 IEEE IMFEDK Tech. Dig.
• 作者: S Urano;RS Low;M Faris;M Ishiguro;I Nagase;A Baratov;JT Asubar;T Motoyama;Y Nakamura;Z Yatabe;M Kuzuhara
• 通讯作者: M Kuzuhara

1. Modified Small Signal Circuit of AlGaN/GaN MOS-HEMTs Using Rational Functions

1. 使用有理函数改进 AlGaN/GaN MOS-HEMT 小信号电路

• DOI: 10.1109/ted.2021.3119528
• 发表时间: 2021
• 期刊: EEE Transactions on Electron Devices
• 作者: Aakash Jadhav;Takashi Ozawa;Ali Baratov;Joel T Asubar;Masaaki Kuzuhara;Akio Wakejima;Shunpei Yamashita; Manato Deki;Shugo Nitta;Yoshio Honda;Hiroshi Amano;Sourajeet Roy;Biplab Sarkar
• 通讯作者: Biplab Sarkar