Wafer-level sensor structure for measurements of the ion energy distribution function and the ion angle distribution function in low-pressure plasmas
用于测量低压等离子体中离子能量分布函数和离子角分布函数的晶圆级传感器结构
基本信息
- 批准号：335529250
- 负责人：
- 金额：--
- 依托单位：
- 依托单位国家：德国
- 项目类别：Research Grants
- 财政年份：2017
- 资助国家：德国
- 起止时间：2016-12-31 至 2022-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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Professor Dr.-Ing. Thomas Mussenbrock其他文献
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