芯片制造相关的界面(电)化学及材料微区结构的先进红外光谱研究

项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    22241201
  • 项目类别：
    专项项目
  • 资助金额：
    270.00万
  • 负责人：
    蔡文斌
  • 依托单位：
    复旦大学
  • 学科分类：
  • 结题年份：
  • 批准年份：
    2022
  • 项目状态：
    未结题
  • 起止时间：
    2022 至
  • 项目参与者：
    蔡文斌；
  • 关键词：

项目摘要

暂未公布

结项摘要

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项目成果

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数据更新时间：2024-06-01

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    蔡文斌
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  • 发表时间：
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  • 期刊：
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  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    蔡文斌;郑易之;刘昀;李冉辉
  • 通讯作者：
    李冉辉
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