各向异性参量与应力场融合的半导体衬底磨削加工损伤模型及调控机制研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:52375429
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:55万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E.工程与材料科学部
- 结题年份:
- 批准年份:2023
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2023至
- 项目参与者:于怡青;
- 关键词:
项目摘要
结项摘要
项目成果
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