晶圆减薄装备整机精度生成与损伤理论
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:51991372
- 项目类别:重大项目
- 资助金额:439万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0512.微纳机械系统
- 结题年份:
- 批准年份:2019
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2019至
- 项目参与者:康仁科;
- 关键词:
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