硅片与光电晶体基片的高效低损伤超精密磨削技术研究

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项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    U0734008
  • 项目类别：
    联合基金项目
  • 资助金额：
    150.0万
  • 负责人：
    康仁科
  • 依托单位：
    大连理工大学
  • 学科分类：
    E0509.加工制造
  • 结题年份：
    2011
  • 批准年份：
    2007
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2008-01-01 至2011-12-31

项目摘要

围绕集成电路和光电子器件制造对硅片和光电晶体基片加工技术的需求，重点针对加工效率和表面损伤这对突出矛盾问题，系统研究基于工件旋转磨削原理，采用自锐金刚石砂轮分阶段控制进给磨削与软磨料砂轮化学机械磨削相结合的高效低损伤超精密磨削新工艺及其相关基础理论和关键技术。通过对新型金刚石砂轮的自锐能力和磨削性能，磨削过程中砂轮与工件相互作用的几何运动关系和微观力学行为，磨削力与工件变形和表面损伤的关系，软磨料砂轮化学机械磨削过程中物理化学效应和机械摩擦作用等理论问题的研究，揭示金刚石砂轮磨削时基片材料去除机理、变形规律和表面/亚表面损伤的产生机理以及软磨料砂轮磨削时基片低损伤表面的形成机理。在此基础上，研制新型自锐金刚石砂轮和软磨料砂轮，研究基片厚度和磨削力在线测量系统，分阶段进给控制策略和超薄基片定位方法等关键技术以及实现高效低损伤超精密磨削的合理工艺方案。为我国电子信息制造业提供先进加工技术。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（27）
专著数量（1）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
大尺寸硅片自旋转磨削运动分析与仿真
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    金刚石磨粒磨具工程
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    魏昕;任庆磊;陈卓
  • 通讯作者：
    陈卓
Research on the Polishing Performance of CMP Slurry for the Sapphire Crystal
蓝宝石晶体CMP浆料抛光性能研究
  • DOI：
    10.4028/www.scientific.net/amr.325.457
  • 发表时间：
    2011-08
  • 期刊：
    Advanced Materials Research
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    Z.G. Dong;S. Gao;Z.J. Jin;R.K. Kang
  • 通讯作者：
    R.K. Kang
The research on the improved CMG tool for Al2O3 ceramic
Al2O3陶瓷改进CMG刀具的研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    Applied Mechanics and Materials
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    Zhuji Jin;Zhanchun Tao;Shang Gao;Fengwei Huo;Hengzhen Dai
  • 通讯作者：
    Hengzhen Dai
Research on topography control of two-spindle and three-workstation wafer grinder
两轴三工位晶圆研磨机形貌控制研究
  • DOI：
    10.1177/0954406211406809
  • 发表时间：
    2011-09
  • 期刊：
    Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers Part C-Journal of Mechanical Engineering Science
  • 影响因子：
    2
  • 作者：
    X.L. Zhu;R K Kang;H M Lv;G Feng
  • 通讯作者：
    G Feng
单晶硅片磨削的表面相变
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光学精密工程
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    郭东明;康仁科;郜伟;张银霞
  • 通讯作者：
    张银霞

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其他文献

激光功率对Al_2O_3-ZrO_2共晶陶瓷成形质量的影响
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
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  • 期刊：
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  • 作者：
    牛方勇;马广义;孙贝;康仁科
  • 通讯作者：
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石英玻璃超精密磨削加工的表面完整性研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    机械工程学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    高尚;耿宗超;吴跃勤;王紫光;康仁科
  • 通讯作者：
    康仁科
固结金刚石研磨盘加工蓝宝石基片的磨削性能研究
  • DOI：
    10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2016.05.029
  • 发表时间：
    2016
  • 期刊：
    人工晶体学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    林智富;高尚;康仁科;王紫光;耿宗超
  • 通讯作者：
    耿宗超
Study of the influence of tool rake angle in ductile machining of optical quartz glass
刀具前角对光学石英玻璃延展加工的影响研究
  • DOI：
    10.1007/s00170-019-03920-x
  • 发表时间：
    2019-09
  • 期刊：
    International Journal of Advanced Manufacturing Technology
  • 影响因子：
    3.4
  • 作者：
    郭晓光;翟锐峰;康仁科;金洙吉;郭东明
  • 通讯作者：
    郭东明
Diamond nanoscale surface processing and tribochemical wear mechanism
金刚石纳米级表面加工及摩擦化学磨损机理
  • DOI：
    10.1016/j.diamond.2019.02.012
  • 发表时间：
    2019-04
  • 期刊：
    Diamond and Related Materials
  • 影响因子：
    4.1
  • 作者：
    袁菘;郭晓光;鹿猛刚;金洙吉;康仁科;郭东明
  • 通讯作者：
    郭东明

其他文献

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航空航天高端装备蜂窝夹层构件制造基础理论与技术
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相似国自然基金

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相似海外基金

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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