DRIE工艺Notching掏蚀对SOI器件层/衬底层气隙静电击穿特性的影响研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
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- 项目类别:面上项目
- 资助金额:60万
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- 依托单位:
- 学科分类:
- 结题年份:
- 批准年份:2020
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2020至
- 项目参与者:乔大勇;
- 关键词:
项目摘要
结项摘要
项目成果
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