纳结构残余应力的动态圆环屈曲测量方法研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50805123
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:20.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0512.微纳机械系统
- 结题年份:2011
- 批准年份:2008
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2009-01-01 至2011-12-31
- 项目参与者:李晓莹; 虞益挺; 燕斌; 马志波; 田力;
- 关键词:
项目摘要
掌握纳结构残余应力尺度效应的实验性规律并作出合理的机理性解释,对于纳机电结构的设计过程和工艺过程具有重要的指导意义,是纳机电系统制造技术的重要组成。本课题以纳表面牺牲层工艺为主要研究背景,提出一种可以与纳机电器件同步制作,能够同时满足纳尺度下微小残余张应力和微小残余压应力原位测量需求的"动态圆环"屈曲结构,将其运用到厚度100纳米以下的典型纳机电结构材料残余应力原位测量中,从试验的角度揭示纳尺度下残余应力相对微尺度异常增大的变化规律,从而对纳尺度残余应力的尺度效应给出充分的实验证据,发展并完善纳机电结构残余应力的表征方法和实验手段,并依据实验结论,尝试从材料结构组态和材料表面形貌等角度对残余应力的纳尺度效应作出机理性解释,从而为纳机电器件的结构和工艺优化设计提供理论和实验依据,为进一步深化和完善相应的理论体系奠定基础。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(9)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(1)
MEMS 扫描镜机电特性测量系统的设计
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:光电工程Guangdian Gongcheng/Opto-Electronic Engineering
- 影响因子:--
- 作者:乔大勇;燕斌;苑伟政;刘耀波
- 通讯作者:刘耀波
Determination of residual stress in deep submicron thick films by the critical buckling technique of annular thin plates
环形薄板临界屈曲技术测定深亚微米厚膜残余应力
- DOI:10.1007/s00542-011-1413-9
- 发表时间:2012-03
- 期刊:Microsystem Technologies-Micro- and Nanosystems Information Storage and Processing Systems
- 影响因子:--
- 作者:Da-Yong Qiao;Xiao-Pei Zheng
- 通讯作者:Xiao-Pei Zheng
A continuous-membrane micro deformable mirror based on anodic bonding of SOI to glass wafer
基于SOI与玻璃晶圆阳极键合的连续膜微变形镜
- DOI:10.1007/s00542-010-1102-0
- 发表时间:2010-10
- 期刊:Microsystem Technologies
- 影响因子:--
- 作者:Wang, Song-Jie;Qiao, Da-Yong;Yuan, Wei-Zheng
- 通讯作者:Yuan, Wei-Zheng
基于绝缘体上硅的连续薄膜式微变形镜工艺
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:中国激光
- 影响因子:--
- 作者:苑伟政;田力;乔大勇
- 通讯作者:乔大勇
Design and fabrication of a resonant scanning micromirror suspended by V shaped beams with vertical electrostatic comb drives
具有垂直静电梳状驱动器的 V 形梁悬挂谐振扫描微镜的设计和制造
- DOI:10.1007/s00542-011-1384-x
- 发表时间:2012-03
- 期刊:Microsystem Technologies-Micro-And Nanosystems-Information Storage and Processing Systems
- 影响因子:2.1
- 作者:Yao-Bo Liu;Xiao-Ying Li;Qian Jin;Bao-Peng Kang;Bin Yan;Da-Yong Qiao
- 通讯作者:Da-Yong Qiao
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- 通讯作者:李开成
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- 通讯作者:饶伏波
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- 通讯作者:李晓莹
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