微细光刻金属掩模版的飞秒激光加工研究

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    50575176
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    28.0万
  • 负责人：
    梅雪松
  • 依托单位：
    西安交通大学
  • 学科分类：
    E0509.加工制造
  • 结题年份：
    2008
  • 批准年份：
    2005
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2006-01-01 至2008-12-31

项目摘要

纳米量级的金属掩模版制作是下一代大规模集成芯片光刻中的关键技术。本课题提出一种利用飞秒激光烧蚀来制作金属掩模版的方法，为此，在大量的典型金属材料飞秒激光烧蚀实验研究基础上，探索飞秒激光作用下典型金属材料的热传递和破坏过程，建立激光能量吸收和分子相变数学模型，从而揭示飞秒激光对典型金属材料的烧蚀机理；进一步，提出飞秒激光对典型金属材料的加工工艺参数，通过与三维精密运动平台控制的结合，最终实现微细线宽

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（3）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（2）
专利数量（0）
Control of microstructure shape and morphology in femtosecond laser ablation of imprint roller
飞秒激光烧蚀压印辊微观结构形状和形貌的控制
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
  • 通讯作者：
Shape characteristics of microstructures in femtosecond laser multi-pulse ablation of metals
飞秒激光多脉冲烧蚀金属微观结构的形状特征
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
  • 通讯作者：
Effect of two typical focus positions on microstructure shape and morphology in femtosecond laser multi-pulse ablation of metals
飞秒激光多脉冲烧蚀金属中两种典型焦点位置对微观结构形状和形貌的影响
  • DOI：
    10.1016/j.apsusc.2008.07.100
  • 发表时间：
    --
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  • 影响因子：
    --
  • 作者：
  • 通讯作者：

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其他文献

精密进给系统热误差的协同训练支持向量机回归建模与补偿方法研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
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  • 期刊：
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  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    朱星星;赵亮;雷默涵;王帅;凌正;杨军;梅雪松
  • 通讯作者：
    梅雪松
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  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
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  • 影响因子：
    0.7
  • 作者：
    崔健磊;杨立军;梅雪松
  • 通讯作者：
    梅雪松
纳秒激光制备钛表面纹理结构及其润湿性研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2016
  • 期刊：
    河北科技大学学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    杨成娟;李媛;梅雪松;田延岭;张大卫
  • 通讯作者：
    张大卫
交流伺服系统脉冲序列位置控制研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    西安交通大学学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    栾宗涛;梅雪松;陶涛;孙挪刚
  • 通讯作者：
    孙挪刚
机床柔性主轴转子低速无试重动平衡方法研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2016
  • 期刊：
    西安交通大学学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    章云;梅雪松
  • 通讯作者：
    梅雪松

其他文献

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AI项目解读示例

课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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