亚微米厚金属薄膜疲劳行为及其尺寸效应的研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50471081
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:28.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0103.金属材料使役行为与表面工程
- 结题年份:2007
- 批准年份:2004
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2005-01-01 至2007-12-31
- 项目参与者:王中光; 袁福河; 刘腾; 黄崇湘;
- 关键词:
项目摘要
广泛应用于集成电路及微机电系统(MEMS)中的金属薄膜及用它微加工而成的膜基器件在使用过程中常受到电、热等引起的循环及热循环应力的作用,其疲劳损伤行为及可靠性已成为微电子工业亟待解决的问题。然而,金属薄膜的厚度(微米~亚微米)往往接近或小于材料中的微观结构尺寸,使得在块体材料上建立起来的一些传统理论和模型已不能用于描述与尺寸效应相关的金属薄膜疲劳行为及进行膜基器件的可靠性设计,因此,薄膜材料的疲劳损伤机制又是当今材料科学领域中的一个重要基础研究问题。本项目拟在具有高弹性和力学稳定性的聚合物基体上制备微米到亚微米厚度的金属铜薄膜,通过研究它在循环加载下疲劳损伤行为、位错结构的演化及材料尺度对薄膜中位错运动的约束作用等问题,揭示金属薄膜的疲劳损伤机理、尺寸效应及其作用规律,探索建立描述亚微米厚金属薄膜疲劳损伤行为模型,为膜基器件的可靠性设计、小尺度材料疲劳理论的建立与发展提供理论依据。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(16)
专著数量(2)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(2)
专利数量(0)
微米尺寸不锈钢的形变与疲劳行为
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:金属学报,41 (2005) 337-341
- 影响因子:--
- 作者:张广平, K. Takashima, Y. Higo
- 通讯作者:张广平, K. Takashima, Y. Higo
Fatigue properties of nanomete
纳米材料的疲劳性能
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:B. Zhang, K. H. Sun, J. Gong,
- 通讯作者:B. Zhang, K. H. Sun, J. Gong,
纳米金属多层膜的塑性变形不稳定
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:中国基础科学,4 (2006) 26-27
- 影响因子:--
- 作者:张广平
- 通讯作者:张广平
Tensile and fatigue strength o
拉伸强度和疲劳强度
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:G. P. Zhang, K. H. Sun, B. Zha
- 通讯作者:G. P. Zhang, K. H. Sun, B. Zha
Origin of cracking in nanoscal
纳米级裂纹的起源
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:G. P. Zhang, X. F. Zhu, J. Tan
- 通讯作者:G. P. Zhang, X. F. Zhu, J. Tan
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其他文献
RIM混合室中撞射流混合的研究
- DOI:--
- 发表时间:--
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- 作者:张广平;戴干策
- 通讯作者:戴干策
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- DOI:--
- 发表时间:--
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- 通讯作者:伍小平
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- 期刊:湖南大学学报(自然科学版)
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- 通讯作者:刘海峰
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- DOI:--
- 发表时间:--
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- 影响因子:--
- 作者:张广平;朱晓飞
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- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:沈阳药科大学学报
- 影响因子:--
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- 通讯作者:徐绥绪
其他文献
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