MEMS微流体测控系统
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:60276038
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:23.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0404.半导体电子器件与集成
- 结题年份:2005
- 批准年份:2002
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2003-01-01 至2005-12-31
- 项目参与者:王蔚; 蓝慕杰; 王喜莲; 陶庆锋; 霍明学;
- 关键词:
项目摘要
通过计算机模拟仿真、优化设计及微机械加工技术研制一种基于MEMS的集成微流体测量控制系统,实现多种传感器和微泵、微通道等我种微执行元器件的单片集成化,系统具有微流体温度、流量等的测量及对于微流体的控制能力,可用于微飞行器燃料和推进控制,纳、皮卫星环境热控,以及IC芯片系统冷却、微化学分析等领域中,国陡上属创新性研究工作。
结项摘要
项目成果
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- 影响因子:--
- 作者:王路文;张宇峰;何洪;赵悠然;刘晓为
- 通讯作者:刘晓为
其他文献
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