多晶硅纳米膜压阻式压力传感器研究

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    60776049
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    26.0万
  • 负责人：
    刘晓为
  • 依托单位：
    哈尔滨工业大学
  • 学科分类：
    F0404.半导体电子器件与集成
  • 结题年份：
    2010
  • 批准年份：
    2007
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2008-01-01 至2010-12-31

项目摘要

压阻式传感器是市场占有量最大、应用最广泛的传感器之一，但存在着温漂大等不足，严重制约了它的使用和进一步发展。我们研究发现高掺杂多晶硅纳米膜具有大的应变系数和低的温度系数，用于压阻式传感器中可在保证原有灵敏度的情况下显著降低其温漂。本课题将通过对多晶硅纳米膜制作工艺、纳米膜电阻压阻特性与温度特性等的实验研究，建立并完善多晶硅纳米膜隧道压阻效应模型，并对其进行模拟与实验验证，解决现有多晶硅压阻模型在纳米尺度及高掺杂浓度下的局限性。突破多晶硅纳米膜压敏电阻制作、引线与钝化、封装等关键技术，研制出多晶硅纳米膜压阻式压力传感器样品以验证多晶硅纳米膜应用于压阻式传感器的可行性及优势。该课题在纳米膜压力传感器、纳米压阻理论、纳米膜敏感电阻制备等方面将形成一系列创新性成果。其研究成果无论对压阻理论完善或压阻式传感器的研制方面均有指导意义，项目的开展具有重要的理论意义与应用价值。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（13）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（6）
专利数量（1）
多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    仪表技术与传感器
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    王健;揣荣岩
  • 通讯作者：
    揣荣岩
Current-induced recrystallization of polycrystalline silicon nano thin films deposited at different temperatures and its influences on piezoresistive sensitivity and temperature coefficients
不同温度沉积的多晶硅纳米薄膜的电流诱导再结晶及其对压阻灵敏度和温度系数的影响
  • DOI：
    10.1016/j.sna.2010.02.004
  • 发表时间：
    2010-08
  • 期刊：
    Sensors and Actuators A-Physical
  • 影响因子：
    4.6
  • 作者：
    Liu, Xiao-wei;Shi, Chang-zhi;Chuai, Rong-yan
  • 通讯作者：
    Chuai, Rong-yan
多晶硅纳米薄膜牺牲层压力敏感结构设计
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    仪表技术与传感器
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    揣荣岩;崔林
  • 通讯作者：
    崔林
多晶硅纳米薄膜电学特性的实验研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    中华内科杂志
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    施长治;李金锋;吴娅静;揣荣岩;陆学斌;刘晓为
  • 通讯作者：
    刘晓为
掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜应变系数及其线性度的影响
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    纳米技术与精密工程
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    刘晓为;陆学斌;施长治;揣荣岩
  • 通讯作者：
    揣荣岩

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其他文献

电极表面粗糙度对检测电容的影响
  • DOI：
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  • 发表时间：
    2013
  • 期刊：
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  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    张海峰;刘晓为;李海;陈楠
  • 通讯作者：
    陈楠
悬浮转子式微陀螺的反电动势转速检测
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2013
  • 期刊：
    光学精密工程
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    翁睿;张海峰;刘晓为
  • 通讯作者：
    刘晓为
微型直接甲醇燃料电池阳极流场结构
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2012
  • 期刊：
    纳米技术与精密工程
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    张鹏;张宇峰;盖琪琦;刘晓为
  • 通讯作者：
    刘晓为
Design and performance analysis of an air-breathing micro direct methanol fuel cell
吸气式微型直接甲醇燃料电池的设计与性能分析
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    Nami Jishu yu Jingmi Gongcheng/Nanotechnology and Precision Engineering
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    张宇峰;张博;刘晓为;苑振宇;张涛
  • 通讯作者：
    张涛
Development of micro direct methanol fuel cells with high methanol concentration
高甲醇浓度微型直接甲醇燃料电池的研制
  • DOI：
    10.3788/ope.20111909.2079
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
    Optics and Precision Engineering
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    王路文;张宇峰;何洪;赵悠然;刘晓为
  • 通讯作者：
    刘晓为

其他文献

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自适应式微型直接甲醇燃料电池研究
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相似国自然基金

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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