基于离子输运两群模型的溅射理论
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:19875035
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:8.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:A3001.粒子束与物质相互作用
- 结题年份:2001
- 批准年份:1998
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1999-01-01 至2001-12-31
- 项目参与者:杨代伦; 付玉川; 唐环; 勾成俊; 滕礼坚;
- 关键词:
项目摘要
定量溅射理论一直是离子束物理中未能解决的重要问题,本项提出应用离子输运两群模型降溅射的原子级联碰撞问题全面地建立在精确的输运理论基础之上。从而提出一个普遍、定量的新溅射理论。此理论由于从根本上解决了已有解析溅射理论的困难而有可能成为最精确的解析溅射理论。另一方面在计算效率上又比随机模拟的蒙特卡罗法高数百倍到数万倍。
结项摘要
项目成果
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