在硅衬底上Er2O3、Tm2O3高k介质材料的外延生长和物理特性研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:10874026
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:36.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:A2011.表面界面与低维物理
- 结题年份:2011
- 批准年份:2008
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2009-01-01 至2011-12-31
- 项目参与者:方泽波; 乐永康; 苏卫锋; 林健晖; 张红云; 聂天晓;
- 关键词:
项目摘要
高k(介电常数)介质材料在硅集成电路工艺和微电子学中有着重要的应用前景,是目前凝聚态物理与材料物理研究的热点之一。本项目提出Er2O3、Tm2O3高k 介质材料在Si 衬底上的外延生长及其异质外延生长机制和物理特性的研究。进一步探索材料异质外延生长的条件与普遍规律,特别是异质外延生长时不同表面状态对外延生长的影响,应变作用及其弛豫机制。弄清楚材料生长过程与工艺、微结构和物理特性三者之间的关系与规律。制备出等效氧化层厚度(equivalent oxide thickness, EOT)小于1nm,且有良好物理性质的高k薄膜材料。因此本项目无论从基础研究的角度还是从应用研究的角度都有意义。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(9)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(9)
专利数量(0)
Thermally oxidized formation of new Ge dots over as-grown Ge dots in the Si capping layer
在 Si 覆盖层中生长的 Ge 点上热氧化形成新的 Ge 点
- DOI:10.1063/1.3665398
- 发表时间:2011-12
- 期刊:Journal of Applied Physics
- 影响因子:3.2
- 作者:Jiang, Zui-Min;Shao, Yuan-Min;Nie, Tian-Xiao;Yang, Xin-Ju;Zou, Jin;Lin, Jin-Hui;Fan, Yong-Liang;Chen, Zhi-Gang;Wu, Yue-Qin
- 通讯作者:Wu, Yue-Qin
Influencing factors on the size uniformity of self-assembled SiGe quantum rings grown by molecular beam epitaxy
分子束外延自组装SiGe量子环尺寸均匀性的影响因素
- DOI:10.1088/0957-4484/22/12/125601
- 发表时间:2011-03-25
- 期刊:NANOTECHNOLOGY
- 影响因子:3.5
- 作者:Cui, J.;Lv, Y.;Jiang, Z. M.
- 通讯作者:Jiang, Z. M.
Hole transport in one-dimensional aligned GeSi quantum dots at low temperatures
低温下一维排列的GeSi量子点的空穴传输
- DOI:10.1088/0022-3727/42/20/205302
- 发表时间:2009-09
- 期刊:Journal of Physics D-Applied Physics
- 影响因子:3.4
- 作者:Fan, Y. L.;Zhang, H. Y.;Jiang, Z. M.;Zhang, B.;Lu, F.;Zhong, Z. Y.;Yuan, H.
- 通讯作者:Yuan, H.
Temperature effects on the growth and electrical properties of Er2O3 films on Ge substrates
温度对 Ge 基底上 Er2O3 薄膜的生长和电性能的影响
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Thin solid Films
- 影响因子:2.1
- 作者:Z. B. Fang et al.;J. Cui;Z. M. Jiang;T. X. Nie;T. Ji
- 通讯作者:T. Ji
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- 影响因子:--
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- 通讯作者:蒋最敏
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- 发表时间:2018-11
- 期刊:Semiconductor Science and Technology
- 影响因子:1.9
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- 通讯作者:蒋最敏
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- 通讯作者:詹义强
其他文献
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