基于SEM的纳米器件制造中多机器人操作机理与自主协调控制研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:61433010
- 项目类别:重点项目
- 资助金额:340.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0306.自动化检测技术与装置
- 结题年份:2019
- 批准年份:2014
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2015-01-01 至2019-12-31
- 项目参与者:福田敏男; 杨湛; 王蓬勃; 陈涛; 钟博文; 石青; 李辉; 王化平; 于宁;
- 关键词:
项目摘要
Nanomanipulation is the key technique in nano manufacture. Stability, reliability and automatic nanomanipulation is an important method to high efficiency and production. This project will study the autonomous multi-robot cooperative control to nanostructures inside SEM environment, research on interaction between nanostructures and generate a nanoscale multi-material adhesion model. Multi-scale resolution motion mechanism will be analyzed. Four nanorobotic manipulator autonomous cooperative control through real-time micro-vision based on SEM will be realized, and providing new principles and new methods for the manufacture of three-dimensional nano-devices.
纳米操作是纳米器件制造中的关键技术,纳米操作过程的稳定性、可靠性和自动化是提高效率、批量生产的重要手段。本项目将研究纳米制造中多机器人操作与自主协同控制,以SEM环境下的纳米结构为研究对象,研究纳观环境下纳结构交互作用机理,建立纳米尺度对象间粘着模型;分析宏微跨尺度亚纳米精度运动机理,通过基于SEM实时显微视觉的四纳米机器手协同控制,实现多机器人自主纳米操作,为纳米器件的三维制造提供新原理和新方法。
结项摘要
纳米操作是纳米器件制造中的关键技术,纳米操作过程的稳定性、可靠性和自动化是提高效率、批量生产的重要手段。本项目将研究纳米制造中多机器人操作与自主协同控制,以SEM环境下的纳米结构为研究对象,研究纳观环境下纳结构交互作用机理,建立纳米尺度对象间粘着模型;分析宏微跨尺度亚纳米精度运动机理,通过基于SEM实时显微视觉的四纳米机器手协同控制,实现多机器人自主纳米操作,为纳米器件的三维制造提供新原理和新方法。研究纳米材料可靠抓取释放技术,建立范德华力—电磁力抓取释放模型,实现CNT抓取。突破跨尺度纳米驱动控制关键技术,建立粘滑驱动动力学模型,突破纳-微-毫跨尺度驱动。研究三维纳米显微视觉技术,建立纳米操作机器人平台。实现SEM中双目三维显微视觉,建立16自由度四操作机器人平台定位精度优于2nm。突破四操作机器人合作操作关键技术,建立四操作机策略库实现四操作机合作操作CNT。实现基于CNT材料FET组装,实现CNT的可控切割,切割精度0.5微米,实现在20微米源、漏电极上CNT装配。发表SCI/EI 论文56 篇,申请发明专利20 项;培养博士研究生3名,硕士研究生15 名。
项目成果
期刊论文数量(31)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(23)
专利数量(20)
Development of a Highly Compact Microgripper Capable of Online Calibration for Multisized Microobject Manipulation
开发能够在线校准多尺寸微观物体操作的高度紧凑的微夹具
- DOI:10.1109/tnano.2018.2793883
- 发表时间:2018-07-01
- 期刊:IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY
- 影响因子:2.4
- 作者:Shi, Qing;Yu, Zhiqiang;Fukuda, Toshio
- 通讯作者:Fukuda, Toshio
Biped Walking of Magnetic Microrobot in Oscillating Field for Indirect Manipulation of Non-Magnetic Objects
磁性微型机器人在振荡场中双足行走间接操纵非磁性物体
- DOI:10.1109/tnano.2019.2954312
- 发表时间:2020-01-01
- 期刊:IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY
- 影响因子:2.4
- 作者:Li, Jianing;Wang, Huaping;Fukuda, Toshio
- 通讯作者:Fukuda, Toshio
Automated Assembly of Vascular-Like Microtube With Repetitive Single-Step Contact Manipulation
通过重复单步接触操作自动组装血管样微管
- DOI:10.1109/tbme.2015.2437952
- 发表时间:2015-11-01
- 期刊:IEEE TRANSACTIONS ON BIOMEDICAL ENGINEERING
- 影响因子:4.6
- 作者:Wang, Huaping;Huang, Qiang;Fukuda, Toshio
- 通讯作者:Fukuda, Toshio
A large thrust trans-scale precision positioning stage based on the inertial stick–slip driving
基于惯性粘滑驱动的大推力跨尺度精密定位台
- DOI:10.1007/s00542-018-04286-y
- 发表时间:2019-01
- 期刊:Microsystem Technologies
- 影响因子:--
- 作者:Bowen Zhong;Jie Zhu;Ziqi Jin;Haidong He;Zhenhua Wang;Lining Sun
- 通讯作者:Lining Sun
Non-contact optical super-resolution imaging study based on height-variable microsphere
基于变高微球的非接触光学超分辨成像研究
- DOI:10.1088/1742-6596/1074/1/012097
- 发表时间:2018-09
- 期刊:Conference Series
- 影响因子:--
- 作者:Kai Meng;Shilin Gao;Zhan Yang;Huicong Liu;Tao Chen;Lining Sun
- 通讯作者:Lining Sun
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- 通讯作者:孙立宁
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- 通讯作者:孙立宁
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