离子感生电荷(IBIC)显微术研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:19975065
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:15.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:A3001.粒子束与物质相互作用
- 结题年份:2002
- 批准年份:1999
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2000-01-01 至2002-12-31
- 项目参与者:陆荣荣; 王基庆; 郭盘林; 裘惠源; 李铭尧;
- 关键词:
项目摘要
在高分辨率核探针基础上开展离子束感生电荷显微术研究,与国际原子能机构研究项目配合,发展核探针在微电子和半导体科学中的应用。通过观测离子束感生电荷,研究半导体材料和微电子器件中电荷传输过程的物理机制。揭露被掩盖的集成电路的多层和深层结构的电学状态,以每个PN结为单元研究新材料和新电路结构抗辐射SEU免疫能力。.
结项摘要
项目成果
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