多元透明导电氧化物薄膜光电性能的机理研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50872048
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:32.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0207.无机非金属半导体与信息功能材料
- 结题年份:2011
- 批准年份:2008
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2009-01-01 至2011-12-31
- 项目参与者:贾维平; 王森; 吴法宇; 薛宁; 苏晓平; 赵卓;
- 关键词:
项目摘要
锡掺杂氧化铟(ITO)以其优良的电性能在光伏电池的实际应用中使用,但由于铟的贮量低,这种薄膜的造价很高,且其透光率和稳定性不及很多其它氧化物。最近铝掺氧化锌以其良好的透光及稳定性成为研究热点,但其导电性始终不及ITO。几种氧化物的混薄膜制备成为研究者开发具有良好光电性能氧化物薄膜的又一途径,但多数研究还局限于薄膜的制备及性能分析。对几种氧化物混合形成透明导电氧化物(TCO)薄膜成份、结构及光、电性能等关系的基理方面研究还鲜有报导。本项目将利用粉末靶的优势,对除氧化铟外常用的锌、锡、镉氧化物混合,大范围地改变混合成份,用粉末靶脉冲磁控溅射法制备T薄膜。因为此方法可廉价地获得成份可变的靶体,且其等离子体高能、稳定。研究所制备的薄膜成份、结构、性能间的内在关系,建立关系模型,并深入探讨此关系的内在机理。另外,项目将初步涉及对p-型掺杂氧化铜TCO薄膜的研究,开发TCO家族的新成员。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(8)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(1)
专利数量(0)
The Characteristics of ZnxSn1-xO FilmsPrepared by RF Magnetron Sputtering from Powder targets
粉末靶材射频磁控溅射制备ZnxSn1-xO薄膜的特性
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics
- 影响因子:0.6
- 作者:FaYu Wu;Xi Liu;Wei Yang;Jin Liu
- 通讯作者:Jin Liu
Discussion on Micro-structure and Tansport Properties of Carbon Micro-Coil
碳微线圈微观结构及传输性能探讨
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Advanced Materials Research Vol.399-401(2012)2012
- 影响因子:--
- 作者:Fayu Wu;Junwei Zhang;Weijuan Li;Yiyong Wang;Yanwen Zhou
- 通讯作者:Yanwen Zhou
Numerical simulation of magnetron fields under unbalanced and closed-field unbalanced magnetron and the effect on the feature of plasma
不平衡及闭场不平衡磁控管下磁控场的数值模拟及其对等离子体特性的影响
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Frontier of Applied Plasma Technology
- 影响因子:--
- 作者:Yue Liu;Zhuo Zhao;Peter Kelly;Yanwen Zhou
- 通讯作者:Yanwen Zhou
Numerical simulation of magnetron fields in unbalanced and closed-field unbalanced magnetron
不平衡和闭场不平衡磁控管中磁控管场的数值模拟
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Plasma Application and Hybrid Functionally Materials
- 影响因子:--
- 作者:Zhuo Zhao;Yanwen Zhou;Yue Liu
- 通讯作者:Yue Liu
基于双带模型的螺旋炭纤维电导特性
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:材料研究学报
- 影响因子:--
- 作者:张峻巍;周艳文;李维娟;吴法宇
- 通讯作者:吴法宇
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