蚀刻用含氟分子激发动力学参数的快电子和非弹性X射线散射实验研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:12334010
- 项目类别:重点项目
- 资助金额:239万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:A.数理科学部
- 结题年份:
- 批准年份:2023
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2023至
- 项目参与者:朱林繁;
- 关键词:
项目摘要
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项目成果
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