高透过率大尺寸氮化铝单晶衬底制备
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:62234003
- 项目类别:重点项目
- 资助金额:283万
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- 依托单位:
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- 结题年份:
- 批准年份:2022
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2022至
- 项目参与者:于彤军;
- 关键词:
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项目成果
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