纳米硅/单晶硅异质结的SOI MAG-MOSFET压磁电效应研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:60676044
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:18.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0404.半导体电子器件与集成
- 结题年份:2009
- 批准年份:2006
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2007-01-01 至2009-12-31
- 项目参与者:邱成军; 赵晓锋; 张辉军; 张振辉; 李朝阳; 杨秀萍; 王璐; 王超; 杨柳;
- 关键词:
项目摘要
在SOI硅片上,采用CMOS技术和PECVD方法在SOI表面的Si层上制造具有纳米硅/单晶硅异质结漏和源的SOI MAG-MOSFET,并将SOI MAG-MOSFET器件的背面硅衬底利用MEMS技术加工成硅杯,使制造的器件成为在检测磁场的同时又能检测压力的多功能传感器。进一步详细研究纳米硅/单晶硅异质结特异性及其作为漏和源结对SOI MAG-MOSFET性能提高的影响、新结构的SOI MAG-M
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(8)
专著数量(2)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(5)
专利数量(1)
微泵硅膜振动拾振传感器的设计
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:传感技术学报
- 影响因子:--
- 作者:温殿忠
- 通讯作者:温殿忠
基于 MEMS 技术制作 n-ZnO/p-Si 异质结及特性研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:功能材料与器件学报
- 影响因子:--
- 作者:赵晓锋;温殿忠
- 通讯作者:温殿忠
纳米多晶硅薄膜压力传感器制作及特性研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:半导体学报
- 影响因子:--
- 作者:温殿忠;赵晓锋
- 通讯作者:赵晓锋
电磁谐振式微泵电感线圈组件的研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:传感技术学报
- 影响因子:--
- 作者:温殿忠
- 通讯作者:温殿忠
纳米硅 / 单晶硅异质结 MAGFET 不等位电势 补偿研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:传感技术学报
- 影响因子:--
- 作者:赵晓锋;温殿忠
- 通讯作者:温殿忠
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--"}}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--" }}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--"}}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
其他文献
基于MEMS技术MOSFETs硅桥结构磁传感器特性仿真与制作工艺
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- 发表时间:2017
- 期刊:黑龙江大学工程学报
- 影响因子:--
- 作者:赵晓锋;邓祁;金晨晨;庄萃萃;温殿忠
- 通讯作者:温殿忠
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- DOI:--
- 发表时间:2011
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- 影响因子:--
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- 通讯作者:修德军
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- 通讯作者:吴亚林
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- DOI:--
- 发表时间:2011
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- 影响因子:--
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- 发表时间:2021-08
- 期刊:Ceramics International
- 影响因子:5.2
- 作者:王璐;朱竑宇;温殿忠
- 通讯作者:温殿忠
其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--" }}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--"}}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--" }}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}
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{{ item.name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 批准年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}
相似海外基金
{{
item.name }}
{{ item.translate_name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 财政年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}