化合物半导体多层膜、超晶格结构完美性的研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:19274065
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:8.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:A2001.凝聚态物质结构、相变和晶格动力学
- 结题年份:1995
- 批准年份:1992
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1993-01-01 至1995-12-31
- 项目参与者:李超荣; 吴兰生; 王超英; 戴道扬; 李建华; 柴卫平; 王建波;
- 关键词:
项目摘要
应射X线双晶衍射、镜面反射和温散射等技术,研究化合物半导体超晶格的结构参数、微结构和缺陷。(1)发展了X射线统计动力学衍射理论,并推广到外延多层膜内随机分布微缺陷的研究。实际应用证实了理论的正确性和通用性;(2)根据形变理论,导出应变驰豫超晶格X射线双晶摇摆曲线的动力学理论模拟方法。提出了确定超晶格中应变驰豫机制的新方法并得到实验的证实。(3)应用X射线衍射动力学衍射理论,建立了适用范围广、功能全的双晶衍射摇摆曲线计算机模拟程序。并应用于不同生长条件、不同结构参数的各种半导体化合物超晶格的研究。(4)推导出X射线统计动力学衍射方程,研究了硅单晶氧沉淀尺寸和浓度与热处理关系,拓宽了截面形貌技术的应用范围。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(33)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
X-ray characterization of strain relaxation in InGaAs/GaAs strained-layer superlattices
InGaAs/GaAs 应变层超晶格应变弛豫的 X 射线表征
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:App Phys Lett
- 影响因子:--
- 作者:J.H.Li Z.H.Mai et al
- 通讯作者:J.H.Li Z.H.Mai et al
X-ray and Transmission Elactron Microscopy Analysis of GeSi/Si superlattices
GeSi/Si 超晶格的 X 射线和透射电子显微镜分析
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:J.Mater. Sci. Lett. 12 (1993) 1511
- 影响因子:--
- 作者:J.H.Li;X.F.Duan;Z.H.Mai
- 通讯作者:Z.H.Mai
Investigation of mosaicity of epitaxi multilayers by the statistical theory of x-ray dynamical diffraction
X射线动态衍射统计理论研究外延多层膜的镶嵌性
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Acta Cryst
- 影响因子:--
- 作者:M.Li ,Z.H.Mai et al
- 通讯作者:M.Li ,Z.H.Mai et al
InAlAs/InGaAs异质结构的X射线研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:中国科学 A辑 37 (1194) 1126
- 影响因子:--
- 作者:麦振洪;王超英;吴兰生
- 通讯作者:吴兰生
Si单晶微缺陷的Pendellosung条纹研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:物理学报
- 影响因子:--
- 作者:李明;麦振洪;崔树范
- 通讯作者:崔树范
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其他文献
The structure metallic magnetic multilayers and its effect on GMR
金属磁性多层膜的结构及其对GMR的影响
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Physics (CH), 28 (1999) 302
- 影响因子:--
- 作者:麦振洪
- 通讯作者:麦振洪
Study of microstructure of the PZT/LSCO integrated films
PZT/LSCO集成薄膜的微观结构研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Chi.J.Low Temp.Phys., 21 (1999) S354
- 影响因子:--
- 作者:于文学;崔树范;麦振洪
- 通讯作者:麦振洪
同步辐射X射线衍射研究短链DNA/磷脂多层膜的结构
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:核技术
- 影响因子:--
- 作者:陆颖;胡书新;麦振洪;李明
- 通讯作者:李明
金属磁性多层膜结构及其对GMR的影响
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:物理
- 影响因子:--
- 作者:徐明;麦振洪
- 通讯作者:麦振洪
X-ray standing waves and their applications
X射线驻波及其应用
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Physics, 27 (1998) 93
- 影响因子:--
- 作者:麦振洪
- 通讯作者:麦振洪
其他文献
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