微型传感-驱动器用锆钛酸铅压电薄膜/金属原型结构的制备科学和表征
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50302006
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:22.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0206.功能陶瓷
- 结题年份:2006
- 批准年份:2003
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2004-01-01 至2006-12-31
- 项目参与者:孟中岩; 张晓燕; 金灯仁; 彭东文; 杜文娟; 郑萍;
- 关键词:
项目摘要
锆钛酸铅( PZT )压电薄膜是典型的微型传感-驱动器材料。为了与集成电路技术兼容,通常PZT薄膜被沉积在Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上,使其在很多技术领域的应用受到限制。而将PZT薄膜制备在不锈钢(SS),钛合金等金属衬底上,PZT的传感和驱动功能与工程系统的集成性将显著提高。申请者用钛酸铅(PT)做为过渡层,首次在SS衬底上制备了近4um厚的PZT 薄膜,其介电,铁电和压电性能达到甚至超过在Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上制备的PZT薄膜。本项目研究旨在用溶胶-凝胶和水热合成以及两种工艺的结合在多种金属衬底上制备PZT压电薄膜、过渡层控制的制备技术、水热合成和微波烧结的一体化工艺。研究金属衬底与薄膜之间的界面应力/应变状态及独特的耦合机制对铁电薄膜相变行为的影响、系统的弹电相互作用。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(8)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(8)
专利数量(0)
Crystalline orientation depend
晶体取向取决于
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Qing-Ming Wang,Yongping Ding,
- 通讯作者:Qing-Ming Wang,Yongping Ding,
电极对PZT薄膜的微结构和电性能
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:功能材料与器件学报,10,289 (2004)
- 影响因子:--
- 作者:杜文娟;陆维;郑萍;孟中岩
- 通讯作者:孟中岩
Electrical properties of sol-
溶胶的电性能
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Ping Zheng,Wei Lu, Wenjuan Du,
- 通讯作者:Ping Zheng,Wei Lu, Wenjuan Du,
Characterization of Lead Zirco
铅锆石的表征
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Lingjuan Che, Yongping Ding, J
- 通讯作者:Lingjuan Che, Yongping Ding, J
The effect of LaNiO3 buffer la
LaNiO3缓冲液la的作用
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Lingjuan Che, Jinrong Cheng, S
- 通讯作者:Lingjuan Che, Jinrong Cheng, S
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- 发表时间:--
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- 作者:祁玉发;俞圣雯;程晋荣;石贵阳;陈建国
- 通讯作者:陈建国
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- DOI:--
- 发表时间:2019
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- 影响因子:--
- 作者:郑瑞;金灯仁;徐凯;程晋荣
- 通讯作者:程晋荣
其他文献
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