二阶段式化学气相沉积成长铜薄膜及其反应机理研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:20176048
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:18.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:B0802.传递过程
- 结题年份:2004
- 批准年份:2001
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2002-01-01 至2004-12-31
- 项目参与者:潘凤鸣; 邓东顺; 许波; 肖茜;
- 关键词:
项目摘要
属.于.超.大.规.模.集.成.电.路.后.段.制.程.的.铜.金.属.化.是.现.今.及.未.来.集.?电.路.制.造.中.的.主.导.性.技.术.,.新.一.代.铜.制.程.的.核.心.技.术.即.在.于.全.部.以.化.学.气.相.沉.积.的.方.式.成.长.扩.散.阻.障.层.、.铜.种.晶.层.及.铜.金.属.膜.。.本.项.目.针.对.新.世.代.铜.制.程.中.的.铜.膜.成.长.技.术.,.研.究.氮.化.钽./.硅.基.材.上.二.阶.段.化.学.气.相.沉.积.铜.膜.成.长.、.最.佳.沉.积.?应.条.件.、.铜.核.形.成.过.程.及.铜.膜.成.长.机.制.,.探.讨.其.沉.积.反.应.机.理.。.
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(18)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(1)
专利数量(0)
六核钴羰基簇的P(OC2H5)3取代衍生物的合成、表征与结构
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:化学学报
- 影响因子:--
- 作者:刘迎春;王琦*
- 通讯作者:王琦*
微孔中简单流体扩散行为的分子动力学模拟研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:高等学校化学学报
- 影响因子:--
- 作者:刘迎春;王琦*;吕玲红
- 通讯作者:吕玲红
Enhanced Chemical Vapor Deposition of Copper Films on the Self-assembled Monolayers as Ultrathin Diffusion Barrier
作为超薄扩散阻挡层的自组装单层铜膜的增强化学气相沉积
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:J. Electrochem. Soc.
- 影响因子:--
- 作者:Xin Liu;Qi Wang(王琦*);Song Wu;Zengzeng Liu
- 通讯作者:Zengzeng Liu
Molecular Simulation on Transport Properties of Confined Water
承压水输运特性的分子模拟
- DOI:--
- 发表时间:2004
- 期刊:Chin. Chem. Lett.
- 影响因子:--
- 作者:Ying-Chun Liu;Guo-Zhen Xiao;Qi Wang(王琦*)
- 通讯作者:Qi Wang(王琦*)
化学气相沉积铜薄膜研究进展
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:真空科学与技术
- 影响因子:--
- 作者:陶波;王琦*
- 通讯作者:王琦*
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- 通讯作者:李天然
其他文献
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