二阶段式化学气相沉积成长铜薄膜及其反应机理研究

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号:
    20176048
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    18.0万
  • 负责人:
  • 依托单位:
  • 学科分类:
    B0802.传递过程
  • 结题年份:
    2004
  • 批准年份:
    2001
  • 项目状态:
    已结题
  • 起止时间:
    2002-01-01 至2004-12-31

项目摘要

属.于.超.大.规.模.集.成.电.路.后.段.制.程.的.铜.金.属.化.是.现.今.及.未.来.集.?电.路.制.造.中.的.主.导.性.技.术.,.新.一.代.铜.制.程.的.核.心.技.术.即.在.于.全.部.以.化.学.气.相.沉.积.的.方.式.成.长.扩.散.阻.障.层.、.铜.种.晶.层.及.铜.金.属.膜.。.本.项.目.针.对.新.世.代.铜.制.程.中.的.铜.膜.成.长.技.术.,.研.究.氮.化.钽./.硅.基.材.上.二.阶.段.化.学.气.相.沉.积.铜.膜.成.长.、.最.佳.沉.积.?应.条.件.、.铜.核.形.成.过.程.及.铜.膜.成.长.机.制.,.探.讨.其.沉.积.反.应.机.理.。.

结项摘要

项目成果

期刊论文数量(18)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(1)
专利数量(0)
六核钴羰基簇的P(OC2H5)3取代衍生物的合成、表征与结构
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
    化学学报
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
    刘迎春;王琦*
  • 通讯作者:
    王琦*
微孔中简单流体扩散行为的分子动力学模拟研究
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
    高等学校化学学报
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
    刘迎春;王琦*;吕玲红
  • 通讯作者:
    吕玲红
Enhanced Chemical Vapor Deposition of Copper Films on the Self-assembled Monolayers as Ultrathin Diffusion Barrier
作为超薄扩散阻挡层的自组装单层铜膜的增强化学气相沉积
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
    J. Electrochem. Soc.
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
    Xin Liu;Qi Wang(王琦*);Song Wu;Zengzeng Liu
  • 通讯作者:
    Zengzeng Liu
Molecular Simulation on Transport Properties of Confined Water
承压水输运特性的分子模拟
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    2004
  • 期刊:
    Chin. Chem. Lett.
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
    Ying-Chun Liu;Guo-Zhen Xiao;Qi Wang(王琦*)
  • 通讯作者:
    Qi Wang(王琦*)
化学气相沉积铜薄膜研究进展
  • DOI:
    --
  • 发表时间:
    --
  • 期刊:
    真空科学与技术
  • 影响因子:
    --
  • 作者:
    陶波;王琦*
  • 通讯作者:
    王琦*

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其他文献

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AI项目解读示例

课题项目:调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要:

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题,其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子,其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而,TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用,影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法,探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用,为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义,并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路:

科学问题:TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达?
前期研究:已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应,但其具体机制尚不明确。
研究创新点:本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线:包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术:TRIM2与病毒RNA的相互作用分析,IFN-β启动子活性检测。
实验模型:使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
      
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