ANALYSE DES PROCÉDÉS DE GRAVURE POUR LES DISPOSITIFS OPTOÉLECTRONIQUES

分析光学器件凹版加工过程

基本信息

批准号：
528817-2018
负责人：
Darnon, Maxime
金额：
$ 1.82万
依托单位：
Université de Sherbrooke
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Engage Grants Program
财政年份：
2018
资助国家：
加拿大
起止时间：
2018-01-01 至 2019-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=648670
关键词：
ANALYSE DES PROC DE GRAVURE

项目摘要

Aeponyx développe et fabrique des puces optoélectroniques vouées à l'infonuagique. La fabrication de ces**puces repose sur les procédés de microfabrication utilisés dans l'industrie des MEMS. Ces procédés doivent**être parfaitement contrôlés pour que les puces soient fonctionnelles.**Dans ce projet de recherche collaboratif, nous proposons d'analyser les procédés de gravure plasma nécessaires**à la microfabrication des puces produites par Aeponyx. Plus précisément, nous nous intéresserons aux procédés**de gravure des diélectriques, en étudiant les sources plasmas les plus pertinentes pour contrôler les procédés de**gravure. En nous basant sur une revue de la littérature des mécanismes de gravure des matériaux diélectriques,**nous mettrons en place un plan d'expériences que nous réaliserons sur différents équipements de gravure, afin**de déterminer les avantages et inconvénients de chaque type d'équipement de gravure pour l'application visée.**Ainsi, nous identifierons les réacteurs de gravure les plus performants pour permettre à Aeponyx de produire**des puces optimales. Ces résultats sont d'une importance capitale pour Aeponyx car le contrôle des procédés**doit être quasi parfait -moins de 5nm de tolérance-, et car toutes les machines de gravure ne sont pas capables**d'atteindre ces performances. Il est donc essentiel avant d'investir dans un équipement de s'assurer de bien**comprendre son fonctionnement et vérifier que l'équipement atteindra la performance visée.**La compagnie Aeponyx bénéficiera donc fortement des retombées de ce projet de recherche, et par la même le**Canada, en renforçant son expertise et ses capacités de production en dispositifs optoélectroniques innovants.**Ces dispositif ont par ailleurs la capacité de réduire la consommation des centres de données, et donc de réduire**l'emprunte écologique globale, ce à quoi s'est engagé le Candaa dans les accords de Paris.

MEMS 的制造过程与 MEMS 工业中的微加工过程有关。功能。**在合作研究项目中，我们提出了凹版等离子凹版印刷所需程序的分析仪**à Aeponyx 的深褐色产品的微加工。凹版印刷过程控制的等离子源，这是决定凹版印刷设备类型的优势和不便之处。**此外，凹版印刷的性能和性能是最理想的。 'une important Capitale pour aeponyx car le这是投资的关键要素，是确保您了解其功能的设备La Performance visée *Ces dispositif ont par.捐助者中心的完善能力以及全球生态发展的能力，可以与巴黎协定中的加拿大合作。