Development of a new 2D/3D spectroscopic metrology infrastructure using 190nm-15um reflectometry for the development and monitoring of 200mm advanced MEMS materials

使用 190nm-15um 反射计开发新的 2D/3D 光谱计量基础设施，用于开发和监控 200mm 先进 MEMS 材料

基本信息

  • 批准号：
    429696-2011
  • 负责人：
    Richard, Charles
  • 金额：
    $ 0.73万
  • 依托单位：
    Teledyne Dalsa
  • 依托单位国家：
    加拿大
  • 项目类别：
    Industrial R&D Fellowships (IRDF)
  • 财政年份：
    2014
  • 资助国家：
    加拿大
  • 起止时间：
    2014-01-01 至 2015-12-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

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项目成果

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  • 影响因子：
    6.1
  • 作者：
    Richard, Charles;Renaudin, Alan;Charette, Paul G.
  • 通讯作者：
    Charette, Paul G.

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  • 批准号：
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