Low-loss vertical-type diamond power MOSFET

低损耗立式钻石功率MOSFET

基本信息

批准号：
17H02786
负责人：
Tokuda Norio
金额：
$ 11.56万
依托单位：
Kanazawa University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2017
资助国家：
日本
起止时间：
2017-04-01 至 2020-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17H02786/
关键词：
表面・界面物性ダイヤモンド

项目摘要

项目成果

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专利数量（0）

Inversion channel mobility and interface state density of diamond MOSFET using N-type body with various phosphorus concentrations

使用具有不同磷浓度的 N 型体的金刚石 MOSFET 的反转沟道迁移率和界面态密度

DOI：
10.1063/1.5100328
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
4
作者：
Matsumoto Tsubasa;Kato Hiromitsu;Makino Toshiharu;Ogura Masahiko;Takeuchi Daisuke;Yamasaki Satoshi;Inokuma Takao;Tokuda Norio
通讯作者：
Tokuda Norio

Inversion channel MOSFET on lightly impurity doped n-type diamond

轻掺杂 n 型金刚石上的反型沟道 MOSFET

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
T. Matsumoto; H. Kato; T. Makino; S. Ohmagari; M. Ogura; D. Takeuchi; T. Inokuma; S. Yamasaki;N. Tokuda
通讯作者：
N. Tokuda

熱化学反応を用いた選択的かつ高速な結晶異方性ダイヤモンドエッチング

利用热化学反应进行选择性和快速晶体各向异性金刚石蚀刻

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
長井雅嗣;松本翼;猪熊孝夫; 徳田規夫
通讯作者：
徳田規夫

ダイヤモンドで究極の省エネ～低炭素社会の実現を目指す～

用钻石实现终极节能——旨在实现低碳社会——

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
徳田規夫
通讯作者：
徳田規夫

Inversion channel diamond MOSFET with lightly phosphorus doped body

具有轻磷掺杂体的反型沟道金刚石 MOSFET

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
T. Matsumoto; H. Kato; T. Makino; M. Ogura; D. Daisuke; T. Inokuma; N. Tokuda; S. Yamasaki
通讯作者：
S. Yamasaki

DOI：
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作者：
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Tokuda Norio其他文献

n-type diamond synthesized with tert-butylphosphine for long spin coherence times of perfectly aligned NV centers

用叔丁基膦合成的n型金刚石可实现完美对准的NV中心的长自旋相干时间

DOI：
10.1063/5.0101215
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
3.2
作者：
Kawase Riku;Kawashima Hiroyuki;Kato Hiromitsu;Tokuda Norio;Yamasaki Satoshi;Ogura Masahiko;Makino Toshiharu;Mizuochi Norikazu
通讯作者：
Mizuochi Norikazu

Mechanical damage-free surface planarization of single-crystal diamond based on carbon solid solution into nickel

基于碳固溶镍的单晶金刚石机械损伤表面平坦化

DOI：
10.1016/j.diamond.2021.108390
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
4.1
作者：
Sakauchi Kazuto;Nagai Masatsugu;Tabakoya Taira;Nakamura Yuto;Yamasaki Satoshi;Nebel Christoph E.;Zhang Xufang;Matsumoto Tsubasa;Inokuma Takao;Tokuda Norio
通讯作者：
Tokuda Norio

Insight into temperature impact of Ta filaments on high-growth-rate diamond (100) films by hot-filament chemical vapor deposition

通过热丝化学气相沉积深入了解 Ta 丝对高生长速率金刚石 (100) 薄膜的温度影响

DOI：
10.1016/j.diamond.2021.108515
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
4.1
作者：
Takamori Yue;Nagai Masatsugu;Tabakoya Taira;Nakamura Yuto;Yamasaki Satoshi;Nebel Christoph E.;Zhang Xufang;Matsumoto Tsubasa;Inokuma Takao;Tokuda Norio
通讯作者：
Tokuda Norio

Conductive-probe atomic force microscopy and Kelvin-probe force microscopy characterization of OH-terminated diamond (111) surfaces with step-terrace structures

具有阶梯平台结构的 OH 封端金刚石 (111) 表面的导电探针原子力显微镜和开尔文探针力显微镜表征

DOI：
10.7567/1347-4065/ab1b5c
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
1.5
作者：
Nagai Masatsugu;Yoshida Ryo;Yamada Tatsuki;Tabakoya Taira;Nebel Christoph E.;Yamasaki Satoshi;Makino Toshiharu;Matsumoto Tsubasa;Inokuma Takao;Tokuda Norio
通讯作者：
Tokuda Norio

n-type diamond synthesized with tert-butylphosphine for long spin coherence times of perfectly aligned NV centers

用叔丁基膦合成的n型金刚石可实现完美对准的NV中心的长自旋相干时间

DOI：
10.1063/5.0101215
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
3.2
作者：
Kawase Riku;Kawashima Hiroyuki;Kato Hiromitsu;Tokuda Norio;Yamasaki Satoshi;Ogura Masahiko;Makino Toshiharu;Mizuochi Norikazu
通讯作者：
Mizuochi Norikazu