Development of highly accurate figure measurement method using high order harmonic generation source

开发使用高次谐波发生源的高精度图形测量方法

基本信息

  • 批准号:
    17K18821
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.99万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 财政年份:
    2017
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2017-06-30 至 2020-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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    10.1364/ol.392695
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    3.6
  • 作者:
    Sakaue Kazuyuki;Motoyama Hiroto;Hayashi Ryosuke;Iwasaki Atsushi;Mimura Hidekazu;Yamanouchi Kaoru;Shibuya Tatsunori;Ishino Masahiko;Dinh Thanh;Ogawa Hiroshi;Higashiguchi Takeshi;Nishikino Masaharu;Kuroda Ryunosuke
  • 通讯作者:
    Kuroda Ryunosuke
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    10.35848/1882-0786/acaebe
  • 发表时间:
    2023
  • 期刊:
  • 影响因子:
    2.3
  • 作者:
    Motoyama Hiroto;Iwasaki Atsushi;Mimura Hidekazu;Yamanouchi Kaoru
  • 通讯作者:
    Yamanouchi Kaoru
Surface processing of PMMA and metal nano-particle resist by sub-micrometer focusing of coherent extreme ultraviolet high-order harmonics pulses
通过亚微米聚焦相干极紫外高次谐波脉冲对 PMMA 和金属纳米粒子抗蚀剂进行表面处理
  • DOI:
    10.1364/ol.392695
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    3.6
  • 作者:
    Sakaue Kazuyuki;Motoyama Hiroto;Hayashi Ryosuke;Iwasaki Atsushi;Mimura Hidekazu;Yamanouchi Kaoru;Shibuya Tatsunori;Ishino Masahiko;Dinh Thanh;Ogawa Hiroshi;Higashiguchi Takeshi;Nishikino Masaharu;Kuroda Ryunosuke
  • 通讯作者:
    Kuroda Ryunosuke
Submicron structures created on Ni thin film by submicron focusing of femtosecond EUV light pulses
通过飞秒 EUV 光脉冲的亚微米聚焦在镍薄膜上创建亚微米结构
  • DOI:
    10.35848/1882-0786/acaebe
  • 发表时间:
    2023
  • 期刊:
  • 影响因子:
    2.3
  • 作者:
    Motoyama Hiroto;Iwasaki Atsushi;Mimura Hidekazu;Yamanouchi Kaoru
  • 通讯作者:
    Yamanouchi Kaoru
Design of soft x-ray fluorescence microscopy beyond 100-nm spatial resolution with ultrashort Kirkpatrick-Baez mirror
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  • DOI:
    10.1117/12.2632949
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Shimamura Takenori;Takeo Yoko;Moriya Fumika;Kimura Takashi;Shimura Mari;Senba Yasunori;Kishimoto Hikaru;Ohashi Haruhiko;Shimba Kenta;Jimbo Yasuhiko;Mimura Hidekazu
  • 通讯作者:
    Mimura Hidekazu

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  • 发表时间:
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  • 作者:
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  • 通讯作者:
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作者:{{ showInfoDetail.author }}

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