Wide range radical production by atmospheric pressure microwave plasma with molecular gas and applications
大气压微波等离子体与分子气体的宽范围自由基生产及其应用
基本信息
- 批准号：16H03893
- 负责人：
- 金额：$ 11.07万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2016
- 资助国家：日本
- 起止时间：2016-04-01 至 2019-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
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Optimized waveguide structure for atmospheric pressure microwave plasma
常压微波等离子体优化波导结构
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Manh Hung Chu;Haruka Suzuki ;Hirotaka Toyoda
- 通讯作者：Hirotaka Toyoda
Observation of cross sectional plasma structure in a gap of an atmospheric pressure microwave discharge
大气压微波放电间隙中截面等离子体结构的观察
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Hirotaka Toyoda Yoshiki Baba Haruka Suzuki
- 通讯作者：Hirotaka Toyoda Yoshiki Baba Haruka Suzuki
High speed photoresist removal using slot-excited atmospheric-pressure microwave O2/CF4 plasma
使用槽激发常压微波 O2/CF4 等离子体高速去除光刻胶
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Shota Ishikaw; Haruka Suzuki; Tsuyoshi Honda;Hirotaka Toyoda
- 通讯作者：Hirotaka Toyoda
Long-scale N2 line plasma production under atmospheric pressure
大气压下大规模 N2 线等离子体生产
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Haruka Suzuki; Yuto Tamura; Yaoki Inomata; Hitoshi Itoh; Makoto Sekine; Masaru Hori;Hirotaka Toyoda
- 通讯作者：Hirotaka Toyoda
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Influence of small ground surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner
浮动衬管电感耦合等离子体中小接地面对等离子体特性的影响
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10.35848/1347-4065/ac7e19 - 发表时间：
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- 影响因子：1.5
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Kyuzo Manabu;Chiba Yukinori;Suzuki Haruka;Toyoda Hirotaka - 通讯作者：
Toyoda Hirotaka
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- DOI：
10.35848/1347-4065/ac7e19 - 发表时间：
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- 影响因子：2.7
- 作者：
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Yoneda Hiroshi
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Production of meter-scale high density microwave plasma and elucisation of its physical mechanism
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- 批准号：
25286079 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 11.07万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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$ 11.07万 - 项目类别：
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16H04256 - 财政年份：2016
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$ 11.07万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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- 批准号：
18740352 - 财政年份：2006
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$ 11.07万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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- 批准号：
17760638 - 财政年份：2005
- 资助金额：
$ 11.07万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)