Fluid device combining a parylene membrane channel with a fine surface structure and an operating magnetic probe

结合具有精细表面结构的聚对二甲苯膜通道和操作磁力探针的流体装置

基本信息

  • 批准号:
    16K06195
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2016
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2016-04-01 至 2019-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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Fabrication of three-dimensional parylene HT diaphragms using D-RIE with a Si substrate
使用 D-RIE 和 Si 衬底制造三维聚对二甲苯 HT 隔膜
  • DOI:
    10.1016/j.sna.2016.11.021
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Satomitsu Imai
  • 通讯作者:
    Satomitsu Imai
Thin-film diaphragms of cellulose nanofiber fabricated using high-concentration polar dispersion for application to MEMS actuators
使用高浓度极性色散制造的纤维素纳米纤维薄膜隔膜,用于 MEMS 执行器
  • DOI:
    10.1016/j.sna.2019.01.007
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    今井 郷充
  • 通讯作者:
    今井 郷充
研究室ホームページ
实验室主页
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
Rolling performance of liquid marbles enhanced by optimizing particles as digital microfluidics actuators
通过优化颗粒作为数字微流体致动器来增强液体弹珠的滚动性能
  • DOI:
    10.1016/j.sna.2018.02.028
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    今井 郷充
  • 通讯作者:
    今井 郷充
Rolling performance of liquid marbles enhanced by optimizing particles as digital microfluidics actuators
通过优化颗粒作为数字微流体致动器来增强液体弹珠的滚动性能
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    S.Imai
  • 通讯作者:
    S.Imai
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    $ 3万
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    2020
  • 资助金额:
    $ 3万
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    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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