Orientation-controlled epitaxial growth of tungsten trioxide thin-films for sensor applications

用于传感器应用的三氧化钨薄膜的取向控制外延生长

• 批准号: 16K04936
• 负责人: YANO Mitsuaki
• 金额: $ 3.08万
• 依托单位: Osaka Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016-04-01 至 2019-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16K04936/
• 关键词: 三酸化タングステン薄膜; エピタキシャル成長; 結晶構造; プロトンの注入と注出; 電気特性; 光学特性; バイオセンサ; ガスセンサ; 三酸化タングステン; 電気特性の変化; 光学特性の変化; 結晶工学; 電子・電気材料; 半導体物性

项目成果

対向ターゲット式スパッタリング法によるHf0.5Zr0.5O2薄膜の作製

面对靶溅射法制备Hf0.5Zr0.5O2薄膜

• 发表时间: 2019
• 作者: 河本泰輝;大田宗司;森口乃理子;小池一歩;矢野満明;中光 豊;門倉貞夫
• 通讯作者: 門倉貞夫

長鎖アミノシランを用いて酵素を固定化した拡張ゲート電界効果トランジスタのグルコース検出特性

长链氨基硅烷固定酶扩展栅场效应晶体管的葡萄糖检测特性

• 发表时间: 2018
• 作者: 大西勇輔;池 広大;小山真由子;広藤裕一;中村吉伸;小池一歩;矢野満明
• 通讯作者: 矢野満明

Protonation-induced change on optical, electrical, and structural properties of epitaxial WO3 films

质子化引起的外延 WO3 薄膜光学、电学和结构特性的变化

• 发表时间: 2017
• 作者: W. Kuwagata; H. Mito; S. Murakami; K. Koike; Y. Harada; S. Sasa; M. Yano
• 通讯作者: M. Yano

ゾル・ゲル法を用いた三酸化タングステン薄膜の作製と評価

溶胶-凝胶法三氧化钨薄膜的制备及评价

• 发表时间: 2017
• 作者: 村上 聡;岩田知也;亀井龍真;小池一歩;矢野満明
• 通讯作者: 矢野満明

集積型ヘルスケアチップ実現に向けたZnO系バイオFET

用于实现集成医疗保健芯片的ZnO基生物FET

• 发表时间: 2016
• 作者: 森結菜;小池一歩;矢野満明
• 通讯作者: 矢野満明