Development of magnetic-field and pulsed-plasma-enhanced chemical vapor deposition method to fabricate amorphous silicon carbonitride diaphragm for environmental-cell transmission electron microscope

磁场和脉冲等离子体增强化学气相沉积法制备环境电池透射电子显微镜用非晶碳氮化硅隔膜的研究

• 批准号: 26420685
• 负责人: MATSUTANI Takaomi
• 金额: $ 3.16万
• 依托单位: Kindai University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2014
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2014-04-01 至 2017-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26420685/
• 关键词: 環境セル; 隔膜; 磁場; パルスプラズマ; 化学気相成長法; 窒化物薄膜; アモルファス; 雰囲気内顕微鏡観察; 電子顕微鏡; 磁場援用; 化学気相成長; 金ナノ触媒; 透過電子顕微鏡; 触媒反応観察; プラズマ; 透過型電子顕微鏡

项目成果

環境セル型透過電子顕微鏡a-SiCN隔膜への窒素プラズマ照射による効果

环境电池透射电子显微镜中氮等离子体辐照对a-SiCN隔膜的影响

• 发表时间: 2016
• 作者: Masanori MURANO;Takaomi MATSUTANI;and Tadahiro KAWASAKI;村野 正典，松谷 貴臣，川﨑 忠寛
• 通讯作者: 村野 正典，松谷 貴臣，川﨑 忠寛

Dynamic Observation of Colloidal Particle Motion in Water Droplets by Liquid Environmental TEM

液体环境TEM动态观察水滴中胶体粒子的运动

• 发表时间: 2015
• 作者: T. Kawasaki;N. Imaeda;T. Ishida;T. Matsutani and T. Tanji
• 通讯作者: T. Matsutani and T. Tanji

Pulse Frequency Dependence of a-SiCN Diaphragm for Environmental Cell Fabricated by Magnetic-Field-Assisted and Pulsed-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

磁场辅助和脉冲等离子体增强化学气相沉积法制造的环境电池 a-SiCN 隔膜的脉冲频率依赖性

• 发表时间: 2017
• 作者: Masanori MURANO;Takaomi MATSUTANI;and Tadahiro KAWASAKI
• 通讯作者: and Tadahiro KAWASAKI

Formation of Ultra-thin a-SiCN Diaphragm for Environmental-cell by Nitrogen Plasma Irradiation

氮等离子体辐照环境电池用超薄a-SiCN隔膜的形成

• 发表时间: 2016
• 作者: Takaomi MATSUTANI;Masanori Murano;Kayo Yamasaki;Tadahiro KAWASAKI
• 通讯作者: Tadahiro KAWASAKI

円環状絞りによるSTEM焦点深度拡大の検証実験

使用环形孔径的STEM焦深扩展验证实验

• 发表时间: 2014
• 作者: T. Kawasaki;N. Imaeda;T. Ishida;T. Matsutani and T. Tanji;川﨑 忠寛，村瀬 弘樹，今枝紀裕，松谷 貴臣，丹司 敬義
• 通讯作者: 川﨑 忠寛，村瀬 弘樹，今枝紀裕，松谷 貴臣，丹司 敬義