Development of Diaphragm for Environmental Cell Transmission Electron Microscope by Pulse Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

脉冲等离子体增强化学气相沉积环境细胞透射电镜隔膜的研制

基本信息

批准号：
23560808
负责人：
MATSUTANI Takaomi
金额：
$ 3.58万
依托单位：
Kinki University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
起止时间：
2011 至 2013
项目状态：
已结题

项目摘要

Recently, it was reported that gold particles of less than 10 nm in diameter exhibit unique catalytic properties. Transmission electron microscopy (TEM) is useful for analyzing structures at the atomic level, but as specimens are conventionally placed under a strong vacuum, it is difficult to examine directly the relationship between the observed structures and catalytic behavior, which requires instead observation of the catalyst under reaction gas conditions.The environmental-cell (E-cell) TEM system includes a specimen holder with a small chamber to isolate the vacuum around the TEM from the reaction gas atmosphere around the specimen by means of a diaphragm. The present study turns attention to the use of amorphous boron nitride and silicon nitride films in the diaphragm of the E-cell TEM. The films were prepared using pulse plasma enhanced chemical vapor deposition. The films which were high hardness, amorphous and transparent at 200 kV electron were successfully developed.

最近，据报道，直径小于10 nm的金颗粒具有独特的催化特性。透射电子显微镜（TEM）可用于分析原子水平的结构，但是由于样品通常将标本放置在强真空下，因此很难直接检查观察到的结构与催化行为之间的关系，这需要观察催化剂在反应气体条件下。环境细胞（E-Cell）TEM系统包括一个带有小室的标本持有人，可通过隔膜隔离样品周围的反应气气氛周围的真空。本研究将注意力转移到E-Cell TEM膜片中的无定形硼硝酸硼和氮化硅膜中的使用。使用脉冲等离子体增强化学蒸气沉积制备膜。成功开发了200 kV电子时高硬度，无定形和透明的膜。

项目成果

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专著数量（0）

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会议论文数量（0）

专利数量（0）

「HMDSNを用いた磁場-パルスプラズマ援用化学気相成長法による環境セル型透過電子顕微鏡用a-SiCN隔膜の特性評価」

“通过使用 HMDSN 的磁场脉冲等离子体辅助化学气相沉积来评估用于环境细胞透射电子显微镜的 a-SiCN 隔膜的特性”

DOI：
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kayo YAMASAKI;Hidenori TSUTSUI;Takaomi MATSUTANI;Tadahiro KAWASAKI;山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛;山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛
通讯作者：
山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛

「磁場-パルスプラズマ援用CVDを用いた環境セル型透過電子顕微鏡用アモルファスSiCN隔膜の作製とその評価」

“使用磁场脉冲等离子体辅助 CVD 制备和评估用于环境细胞透射电子显微镜的非晶 SiCN 隔膜”

DOI：
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
0
作者：
K. Yamasaki;T. Matsutani;H. Nakano;Z. Cui;T. Kawasaki;山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛
通讯作者：
山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛

Characterization of Amorphous Nitride Diaphragm for Environmental-Cell Transmission Electron Microscopy Developed by Magnetic-Field and Pulse-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

通过磁场和脉冲等离子体增强化学气相沉积开发的环境电池透射电子显微镜用非晶氮化物隔膜的表征

DOI：
发表时间：
2013
期刊：
Adv. Appl. Plasma Sci
影响因子：
0
作者：
Kayo Yamasaki;Takaomi Matsutani;Hitoshi Nakano;Zipeng Cui;Tadahiro Kawasaki
通讯作者：
Tadahiro Kawasaki

Diaphragm for Transmission Electron Microscope with Environmental-Cell System Developed by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

具有等离子体增强化学气相沉积开发的环境电池系统的透射电子显微镜隔膜

DOI：
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
0
作者：
T. Matsutani;K. Yamasaki;H. Tsutsui;T. Kawasaki
通讯作者：
T. Kawasaki

環境セル電子顕微鏡におけるSINコーティング隔膜の膜厚最適化

环境细胞电子显微镜中 SIN 涂层膜厚度的优化

DOI：
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kun Yao ;Daniela Caruntu;Sarah Wozny;Rong Huang;Yumi H. Ikuhara;Baobao Cao;Charles J. O'Connor and Weilie Zhou;崔子鵬，美浦拓也，川崎忠寛，松谷貴臣，丹司敬義
通讯作者：
崔子鵬，美浦拓也，川崎忠寛，松谷貴臣，丹司敬義