Investigation on mechanism of wet chemical laser doping of 4H-SiC by optical emission spectroscopy
发射光谱研究4H-SiC湿化学激光掺杂机理
基本信息
- 批准号：26420309
- 负责人：
- 金额：$ 3.24万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2014
- 资助国家：日本
- 起止时间：2014-04-01 至 2017-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
大気圧窒素プラズマ中レーザー照射による4H-SiC中への窒素ドーピング
常压氮等离子体激光照射4H-SiC氮掺杂
- DOI：
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：A. Ikeda;D. Mrui;H. Ikenoue;T. Asano;丸井大地，池田晃裕，池上浩，浅野種正;小島遼太，池上浩，渡邊陽介，池田晃裕，中村大輔，浅野種正，岡田龍雄
- 通讯作者：小島遼太，池上浩，渡邊陽介，池田晃裕，中村大輔，浅野種正，岡田龍雄
Aluminum doping of 4H-SiC by irradiation of excimer laser in aluminum chloride solution
- DOI：10.7567/jjap.53.06jf03
- 发表时间：2014-05
- 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：Daichi Marui;A. Ikeda;K. Nishi;H. Ikenoue;T. Asano
- 通讯作者：Daichi Marui;A. Ikeda;K. Nishi;H. Ikenoue;T. Asano
Effects of Substrate Heating on Al Doping Performed by Irradiating Laser Beam to Al Film on 4H-SiC
基片加热对4H-SiC上Al薄膜激光照射Al掺杂的影响
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：A. Ikeda;R. Tsutsui;R. Sumina;H. Ikenoue;T. Asano
- 通讯作者：T. Asano
Thickness dependence of doping characteristic in Al doping into 4H-SiC by laser irradiation to deposited Al film
激光照射沉积Al膜将Al掺杂到4H-SiC中的掺杂特性的厚度依赖性
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：R. Sumina;A. Ikeda;H. Ikenoue;T. Asano
- 通讯作者：T. Asano
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
Ikeda Akihiro其他文献
Global response of Magnetic field and Ionosonde observations to intense solar flares on 6 and 10 September 2017
2017 年 9 月 6 日至 10 日磁场和电离探空仪观测对强烈太阳耀斑的全球响应
- DOI：
10.1051/e3sconf/20186201007 - 发表时间：
2018 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Fujimoto Akiko;Yoshikawa Akimasa;Ikeda Akihiro - 通讯作者：
Ikeda Akihiro
Monitoring of Space and Earth electromagnetic environment by MAGDAS project: Collaboration with IKIR - Introduction to ICSWSE/MAGDAS project
MAGDAS项目对空间和地球电磁环境的监测：与IKIR的合作 - ICSWSE/MAGDAS项目简介
- DOI：
10.1051/e3sconf/20172001013 - 发表时间：
2017 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Yoshikawa Akimasa;Fujimoto Akiko;Ikeda Akihiro;Uozumi Teiji;Abe Shuji - 通讯作者：
Abe Shuji
日本における希少がん患者のアンメットニーズ
日本罕见癌症患者的未满足需求
- DOI：
- 发表时间：
2023 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Ikeda Akihiro;Tochino Yoshihiro;Nishihata Tomoya;Oku Sachiko;Shuto Taichi;大西 啓之 - 通讯作者：
大西 啓之
Ikeda Akihiro的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
{{ truncateString('Ikeda Akihiro', 18)}}的其他基金
Schumann Resonance for monitoring of ionosphere
用于监测电离层的舒曼共振
- 批准号：
19K03956 - 财政年份：2019
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
In-situ temperature measurements and impurity profile control on SiC surface during wet chemical laser doping
湿化学激光掺杂过程中 SiC 表面的原位温度测量和杂质分布控制
- 批准号：
17K06387 - 财政年份：2017
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Magnetosphere-ionosphere-Earth coupling based on magnetic pulsations
基于磁脉动的磁层-电离层-地球耦合
- 批准号：
25800277 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
相似海外基金
In-situ temperature measurements and impurity profile control on SiC surface during wet chemical laser doping
湿化学激光掺杂过程中 SiC 表面的原位温度测量和杂质分布控制
- 批准号：
17K06387 - 财政年份：2017
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
SUPRESSION OF SHORT-CHANNEL EFFECT IN MOSFET WITH UV EXCIMER LASER DOPING
用紫外准分子激光掺杂抑制 MOSFET 中的短沟道效应
- 批准号：
05650335 - 财政年份：1993
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)