Study of plasma properties of EUV material ablation by particle diagnostics
通过粒子诊断研究 EUV 材料烧蚀的等离子体特性
基本信息
- 批准号:25800303
- 负责人:
- 金额:$ 2.66万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份:2013
- 资助国家:日本
- 起止时间:2013-04-01 至 2016-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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Spectroscopic observation of ablation plasma generated with a laser-driven extreme light source
激光驱动极端光源产生的烧蚀等离子体的光谱观察
- DOI:10.1007/s00340-015-6041-0
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:M. Masuda; N. Tanaka; K. Hane; A. Sunahara; S. Fujioka;H; Nishimura
- 通讯作者:Nishimura
Spectroscopic measurements of ablation plasma generated with laser-driven intense extreme ultraviolet (EUV) light
对激光驱动的强极紫外 (EUV) 光产生的烧蚀等离子体进行光谱测量
- DOI:10.1088/1742-6596/688/1/012122
- 发表时间:2016
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:N. Tanaka; K. Hane; H. Shikata; M. Masuda; K. Nagatomi; A. Sunahara; M. Yoshida; S. Fujioka;H. Nishimura
- 通讯作者:H. Nishimura
Ion expansion from extreme ultraviolet (EUV) and laser ablation plasmas
极紫外 (EUV) 和激光烧蚀等离子体的离子膨胀
- DOI:
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:N. Tanaka; M. Masuda; M. Murakami; A. Sunahara; S. Fujioka; H. Nishimura
- 通讯作者:H. Nishimura
レーザー駆動集光EUV光による物質アブレーションとその応用
激光驱动聚焦 EUV 光的材料烧蚀及其应用
- DOI:
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:田中のぞみ; 増田将也; 出口 亮; 砂原 淳; 村上匡且; 余語覚文; 藤岡慎介; 西村博明
- 通讯作者:西村博明
Spectroscopic observation of ablation plasma generated with a laser-driven extreme ultraviolet (EUV) light source
用激光驱动的极紫外 (EUV) 光源产生的烧蚀等离子体的光谱观察
- DOI:
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:M. Masuda; N. Tanaka; A. Sunahara; S. Fujioka; H. Nishimura
- 通讯作者:H. Nishimura
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16310065 - 财政年份:2004
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99J06348 - 财政年份:1999
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$ 2.66万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows