Zeitaufgelöste Beobachtung und Modellierung der Entstehung laserinduzierter Nanostrukturen

激光诱导纳米结构形成的时间分辨观察和建模

• 批准号: 79254975
• 负责人: Dr. Dmitry Ivanov
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Lasertechnik (LLT)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 2015-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/79254975?language=en
• 关键词: Zeitaufgel; ste; Beobachtung; und; Modellierung

In diesem Vorhaben wird die laserinduzierte Nanostrukturierung von Metallen, Halbleitern und Dielektrika theoretisch und experimentell erforscht. Untersucht werden insbesondere die Entstehungsdynamik von, mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung hergestellten Nanobumps bzw. –jets und die Formation von selbstorganisierten, periodischen Riffelstrukturen bei Bestrahlung mit Mehrfachpulsen. Pump-Probe-Messtechniken, basierend auf EUV-Mikroskopie und optischer Messtechnik werden zur Untersuchung der Strukturentstehungsdynamik mit großer zeitlicher und räumlicher Auflösung angewendet. Dies ermöglicht die Analyse der noch nicht geklärten physikalischen Prozesse und komplexen dynamischen Vorgänge, und darüber hinaus die Evaluierung der technischen Grenzen bei der Materialbearbeitung mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung. Die Ergebnisse der zeitaufgelösten Messungen fließen in eine atomistisch-kontinuumsphysikalische Simulation ein und dienen der Verifikation des Modells. Die Synergie von experimentellen und theoretischen Untersuchungen wird zur fundamentalen Klärung der Entstehung von Femtosekundenlaser-induzierten Sub-100-nm-Strukturen genutzt. In der ersten Projektphase wurde die innovative Laserbearbeitungstechnologie zur Herstellung der Nanostrukturen etabliert und weiterentwickelt. In der hier beantragten Phase werden die grundlegenden zeitaufgelösten Untersuchungen und die Modellierung der Entstehungsdynamik auf Oberflächen-(Riffel-)Strukturen sowie die Strukturierung von Halbleitern und Dielektrika ausgedehnt. Darüber hinaus werden in dem anwendungsorientierten Teil dieses Projektes verschiedene Applikationen von laserinduzierten Nanostrukturen wie die Durchkontaktierung von Dünnschichtsystemen, Nanoantennen für die optische Rasternahfeldmikroskopie und die plasmonische Kollimation von Diodenlaserstrahlung realisiert, charakterisiert und bewertet.

在Diesem Vorhaben Wird Die laserinduzierte纳米trukturierung von Metallen，halbleitern und dielektrika theoretisch und berverimentell erforscht。 Untersucht Werden Insbesondere Die Entstehungsdynamik von，Mit Ultrakurz Gepulster Laserstrahlung Hergestellten Nanobumps BZW。 - Jets und die组，von selbstorganisierten，周期性riffelstrukturen bei besi bestrahlung mit mehrfachpachpulsen。 Pump-probe-Messtechniken，Basierend the Pospect the Pospect the Pospection Euv-Mikroskopie是毫无定论和优化Messtechnik的来源，这是无特殊的终极。 DIE是基于对日本物理社会的分析，是起诉和动态化的来源，是评估材料的来源。死亡梅恩·弗莱（Messung Flye）是新模型开发的主要因素。该协会是在实验世界中建立的，是未来发展不成功的基本原则。该公司的建立在事务状态，目的是实现实现实现实现最终目标的最终目标的最终目标，即实现实现实现新模型发展新方法的最终目标的最终目标的最终目标。纳米曲局的食物的衍生是不为人知的。除了阶段Werden外，建模公司还在努力确保学生能够死亡。除了阶段Werden，Werden阶段是已加入Werden阶段的不为人知的建模公司的一种形式，该模型公司一直在努力确保学生乐于体验最新趋势。纳米曲库顿（Nanostrukturen）是一个人死在该国的地方，纳米特鲁克氏菌（Nanostrukturen）是一个人死在该国的地方，而纳米氏菌（Nanostrukturen）是该国居住在该国的地方。