Untersuchungen zu den Mechanismen des Plasmanitrierens mit dem Aktivgitter

活性栅极等离子渗氮机理研究

基本信息

项目摘要

Das Plasmanitrieren mit einem Aktivgitter stellt eine Weiterentwicklung des konventionellen Plasmanitrierens dar. Bei diesem Verfahren wird die Glimmentladung von den Bauteilen auf ein den Innenraum des Rezipienten umschließendes Gitter aus Streckmetall verlagert, an dem dadurch ein hoch reaktionsfähiges Prozessgas erzeugt wird. Die sich beim konventionellen Plasmanitrieren durch den Energieeintrag über die Glimmentladung an der Bauteiloberfläche ergebenden Grenzen werden auf diese Weise überwunden. Das erst vor wenigen Jahren entwickelte Verfahren wird in zunehmendem Maße industriell genutzt, obwohl seine wissenschaftlichen Grundlagen noch weitgehend unklar sind. Das gilt besonders für die Mechanismen des Nitrierens in industriellen Behandlungsanlagen. Das hier beantragte Forschungsvorhaben hat das Ziel einen Beitrag zur Schaffung der wissenschaftlichen Grundlagen für das Aktivgitter-Plasmanitrieren von Stählen zu leisten. Im Mittelpunkt stehen dabei die Mechanismen des Stoffübergangs. Dazu sollen unter realitätsnahen Bedingungen, vor allem mit Hilfe der optischen Spektroskopie und der Massenspektroskopie, die im Plasma vorhandenen Spezies in situ nachgewiesen werden und deren zeitliche Veränderung in Abhängigkeit von den Behandlungsbedingungen (Gasdruck und –zusammensetzung; Probenvorspannung) verfolgt werden. Wesentliche Erkenntnisse werden ferner von der Untersuchung verfahrensbedingter Veränderungen auf Probenoberflächen – Stahlproben und nicht nitrierbare Substrate – erwartet.
das plasmanitrieren mit einem aktivgitter stellt eine weiterentwicklung des konventionellen plasmanitrierens dar。 Bei Diesem verfahren wird die glimmentladung von den bauteilen auf ein den ninenraum des rezipientenumschließendesgitter gitter aus streckmetall verlagert,dem demaurd ein hoch hochreaktionsfähigesfähigesprozessgas prozessgas erzegas erzegas erzeugt wird wird。 Die Sich Beim Konventionellen plasmanitrieren durch denenergieeintragüberiberdie glimmentladung an an the the the the the the the the the the the the the the the the the the Inders居住在该国。世界长者居住在该国,一家人住在该国,一家人生活在该国。这座城市的长老居住在该国,一家人居住在该国。这座城市的长老居住在该国,一家人居住在该国。这座城市的长老居住在该国,一家人居住在该国。 Schaffung der Wilderness和GrundlagenfürDasaktivgitter-plasmanitrierenvonStählenZu Leisten。 Bedingungseng是贝丁格的所有现实主义者,而Spektroskopies都更加受欢迎,而Spektroskopies在该地区更受欢迎,包括Spektroskopies,这在Abhängigkeit地区最常见。 Behandlungsbedingungen(Gasdruck und - Zusammensetzung; Probenvorspannung)Verfolgt Werden。 Wesentliche Erkenntnisse Werden Ferner von der untersuchung verfahrensbedingler aufprobenoberflächen - stahlproben und nicht nitrierbare substrate - erwartet。

项目成果

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In-situ monitoring of plasma enhanced nitriding processes using infrared absorption and mass spectroscopy
  • DOI:
    10.1016/j.surfcoat.2012.03.067
  • 发表时间:
    2012-05-25
  • 期刊:
  • 影响因子:
    5.4
  • 作者:
    Burlacov, I.;Boerner, K.;Roepcke, J.
  • 通讯作者:
    Roepcke, J.
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Professor Dr.-Ing. Horst Biermann其他文献

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