Development of novel attosecond oxide multilayer mirrors at soft X-ray wavelengths fabricated by atomic layer epitaxy

开发原子层外延制造的软X射线波长新型阿秒氧化物多层镜

• 批准号: 23560041
• 负责人: KUMAGAI Hiroshi
• 金额: $ 3.49万
• 依托单位: Kitasato University (2012-2013)Osaka City University (2011)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2013
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23560041/
• 关键词: 軟X線ミラー; 水の窓; アト秒; 軟Ｘ線光学素子; 酸化物; 原子層成長; アト秒ミラー

A new approach to the fabrication of attosecond soft X ray multilayer mirrors on an atomic scale at soft X ray wavelengths is proposed to overcome serious problems regarding scattering loss at the rough surface and interface of the multilayer.In this research project, novel approaches utilizing atomic layer epitaxy to the fabrication of ZnO/TiO2 oxide superlattice multilayer film mirror on a sapphire substrate for soft X ray wavelengths was studied. We demonstrated high reflectance and that phase could control soft X ray frequency precisely by a multiplex period in a window soft X ray domain of the so-called "water window" that ZnO/TiO2 oxide superstructure provided large frequency band.

提出了一种在软 X 射线波长下在原子尺度上制造阿秒软 X 射线多层镜的新方法，以克服多层粗糙表面和界面处的散射损耗的严重问题。在该研究项目中，利用原子的新方法研究了在软X射线波长的蓝宝石衬底上采用层外延技术制备ZnO/TiO2氧化物超晶格多层膜反射镜。我们证明了高反射率，并且该相位可以通过所谓“水窗”的窗口软X射线域中的复用周期来精确控制软X射线频率，ZnO/TiO2氧化物超结构提供了大频带。

项目成果

Self-limiting nature in atomic layer epitaxy of wurtzite thin films from sequentially pressurized Zn(CH2CH3)2 and H2O vapor pulses on sapphire (001) substrates

蓝宝石 (001) 衬底上连续加压 Zn(CH2CH3)2 和 H2O 蒸汽脉冲的纤锌矿薄膜原子层外延的自限性

• 发表时间: 2011
• 作者: H. Kumagai; Y. Masuda;T. Shinagawa
• 通讯作者: T. Shinagawa

逐次的表面化学反応法によるV_2O_3薄膜の作製

序贯表面化学反应法制备V_2O_3薄膜

• 发表时间: 2012
• 作者: 川上陽子;三條泰隆;村田雅樹;熊谷寛;小林中
• 通讯作者: 小林中

酸化物軟X線ミラーの開発

氧化物软X射线镜的研制

• 发表时间: 2012
• 作者: 熊谷寛

二重共振型テラヘルツ波パラメトリック発振器におけるアイドラー波の波長可変特性

双谐振太赫兹波参量振荡器闲频波的波长可调特性

• 发表时间: 2012
• 作者: 瀧田佑馬;大平達也;田所 譲;熊谷 寛;菜嶋茂喜
• 通讯作者: 菜嶋茂喜

酸化物軟X線光学素子

氧化物软X射线光学元件

• 发表时间: 2012
• 作者: 熊谷寛