Efficient method for ordered nano dot array fabrication by combination of machining and self-organization process

机械加工与自组织工艺相结合的有序纳米点阵列制造的有效方法

• 批准号: 23360065
• 负责人: YOSHINO Masahiko
• 金额: $ 12.31万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011-04-01 至 2014-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23360065/
• 关键词: マイクロナノデバイス; 機械工作・生産工学; 先端機能デバイス; ナノ材料; 精密部品加工; 自己組織化; 光学特性; マイクロ・ナノデバイス; 機械加工; 超精密加工; 光学機能; マイクロアレイ; ナノインプリント; 薄膜モールド; ナノ・マイクロ加工; ナノドット; 塑性加工; ナノデバイス; 局在表面プラズモン共鳴; インプリンティング; 薄膜

This project aimed to develop efficient processes at a low cost to produce the gold nano dot array having 10nm level. The conclusions obtained from the project is the following three.Nano-dot arrays with a diameter of smaller than 100nm can be produced by a combination process of patterning by the nano plastic forming and self-organization by annealing.It is efficient to employ the nanoimprinting process to groove grid patterning in order to improve productivity of nano dot arrays. It was shown that nanodot arrays exhibit unique optical properties, and the potential for industrial applications as biosensors was shown.

该项目旨在开发低成本、高效的工艺来生产10纳米级的金纳米点阵列。该项目获得的结论有以下三点：通过纳米塑性成形图案化和退火自组织相结合的工艺，可以制备直径小于100nm的纳米点阵列。采用纳米压印技术是有效的。沟槽网格图案化工艺，以提高纳米点阵列的生产率。结果表明，纳米点阵列表现出独特的光学特性，并显示出作为生物传感器的工业应用潜力。

项目成果

Optical Properties of Ordered Metal Nano-dots Allay Fabricated by Nano Plastic Forming and Annealing

纳米塑料成型和退火制备的有序金属纳米点合金的光学性能

• 发表时间: 2011
• 作者: Akinori Yamanaka; Hiroki Osawa; Masahiko Yoshino
• 通讯作者: Masahiko Yoshino

積層型金属ナノ構造アレイを用いた表面増強ラマン散乱

使用堆叠金属纳米结构阵列的表面增强拉曼散射

• 发表时间: 2014
• 作者: 李振星;Dao Duy Thang;長尾 忠昭;吉野雅彦
• 通讯作者: 吉野雅彦

プラスチック板上に配列したナノドットアレイの効率的製造法

塑料板上纳米点阵列的高效制造方法

• 发表时间: 2013
• 作者: 吉野雅彦;Truong Duc Phuc;山中晃徳;山本貴富喜
• 通讯作者: 山本貴富喜

プラスチック板上に配列したナノドットアレイの効率的製造法

塑料板上纳米点阵列的高效制造方法

• 发表时间: 2013
• 作者: 吉野 雅彦

光学機能表面のための金属ナノドットアレイの効率的製造法

光学功能表面金属纳米点阵列的高效制造

• 发表时间: 2012
• 作者: 吉野雅彦;保土田亮;永松明浩;山中晃徳
• 通讯作者: 山中晃徳