Effects of dielectric loss mechanisms at electron trapping sites on damage recovery and reliability improvement in thin films

电子捕获位点介电损耗机制对薄膜损伤恢复和可靠性改进的影响

基本信息

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通过物质碰撞进行快速风味转换的多能量处理

DOI：
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kaneko Toshiro;Kato Hiromitsu;Yamada Hideaki;Yamamoto Muneaki;Yoshida Tomoko;Attri Pankaj;Koga Kazunori;Murakami Tomoyuki;Kuchitsu Kazuyuki;Ando Sugihiro;Nishikawa Yasuhiro;Tomita Kentaro;Ono Ryo;Ito Tsuyohito;Ito Atsushi M.;Eriguchi Koji;Nozaki Tomohiro;Chinami Kato
通讯作者：
Chinami Kato

Si 衬底中等离子体暴露引入的缺陷分布特征

等离子气液界面科学开创可持续的未来社会

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kaneko Toshiro;Kato Hiromitsu;Yamada Hideaki;Yamamoto Muneaki;Yoshida Tomoko;Attri Pankaj;Koga Kazunori;Murakami Tomoyuki;Kuchitsu Kazuyuki;Ando Sugihiro;Nishikawa Yasuhiro;Tomita Kentaro;Ono Ryo;Ito Tsuyohito;Ito Atsushi M.;Eriguchi Koji;Nozaki Tomohiro;佐々木渉太，丸子高志，西牧真木夫，河合伸典，北川清太郎，金子俊郎;T. Kaneko，S. Sasaki，H. Iwamoto，K. Takashima，H. Takahashi;金子俊郎
通讯作者：
金子俊郎

等离子体生成和电子温度/离子能量控制的基础知识

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kaneko Toshiro;Kato Hiromitsu;Yamada Hideaki;Yamamoto Muneaki;Yoshida Tomoko;Attri Pankaj;Koga Kazunori;Murakami Tomoyuki;Kuchitsu Kazuyuki;Ando Sugihiro;Nishikawa Yasuhiro;Tomita Kentaro;Ono Ryo;Ito Tsuyohito;Ito Atsushi M.;Eriguchi Koji;Nozaki Tomohiro;佐々木渉太，丸子高志，西牧真木夫，河合伸典，北川清太郎，金子俊郎;T. Kaneko，S. Sasaki，H. Iwamoto，K. Takashima，H. Takahashi;金子俊郎;金子俊郎
通讯作者：
金子俊郎

使用大气压空气等离子体的未来农业和传感技术

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kaneko Toshiro;Kato Hiromitsu;Yamada Hideaki;Yamamoto Muneaki;Yoshida Tomoko;Attri Pankaj;Koga Kazunori;Murakami Tomoyuki;Kuchitsu Kazuyuki;Ando Sugihiro;Nishikawa Yasuhiro;Tomita Kentaro;Ono Ryo;Ito Tsuyohito;Ito Atsushi M.;Eriguchi Koji;Nozaki Tomohiro;佐々木渉太，丸子高志，西牧真木夫，河合伸典，北川清太郎，金子俊郎;T. Kaneko，S. Sasaki，H. Iwamoto，K. Takashima，H. Takahashi;金子俊郎;金子俊郎;佐々木渉太，高島圭介，金子俊郎;T. Kaneko，S. Sasaki，and K. Takashima;S. Sasaki，S. Osana，M. Yamaya，H. Nishimura，R. Nagatomi，and T. Kaneko;T. Kaneko，S. Sasaki，K. Takashima，A. Higashitani，S. Ando，H. Takahashi;金子俊郎;金子俊郎;佐々木渉太，高島圭介，金子俊郎;T. Kaneko，S. Sasaki，K. Takashima，A. Higashitani，S. Ando，H. Takahashi;金子俊郎
通讯作者：
金子俊郎