Simple and simultaneous measurement of five-degrees-of-freedom error motions of high-speed microspindle

高速微主轴五自由度误差运动的简单同步测量

基本信息

批准号：
22760100
负责人：
MURAKAMI Hiroshi
金额：
$ 2.41万
依托单位：
The University of Kitakyushu (2012)Kyushu Sangyo University (2010-2011)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2010
资助国家：
日本
起止时间：
2010 至 2012
项目状态：
已结题

项目摘要

We present an optical technique to measure five-degree-of-freedom error motions of a high-speed microspindle. The measurement system consists of a rod lens, a ball lens, four divided laser beams, and multiple divided photodiodes. When the spindle rotates with its concomitant rotation errors, the rod and ball lenses, which are mounted to the chuck of the spindle, are displaced, and this displacement is measured using an optical technique. The results show that the measurement system has a resolution of 5 nm and can be used to evaluate high-speed microspindle rotation errors.

我们提出了一种光学技术来测量高速微主轴的五自由度误差运动。测量系统由棒透镜、球透镜、四分割激光束和多个分割光电二极管组成。当主轴旋转并伴随旋转误差时，安装在主轴卡盘上的棒透镜和球透镜会发生位移，并且使用光学技术测量该位移。结果表明，该测量系统分辨率为5 nm，可用于评估高速微主轴旋转误差。

项目成果

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专利数量（0）

Optical Technique to Measure Five-Degree-of-Freedom Error Motions for a High-Speed Microspindle

测量高速微主轴五自由度误差运动的光学技术

DOI：
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
1.9
作者：
Hiroshi MURAKAMI;Norio KAWAGOISHI; Eiji KONDO; Akira KODAMA
通讯作者：
Akira KODAMA

Optical Technique to Measure Five-Degree-of-Freedom Error Motions for a High-Speed Microspindle

测量高速微主轴五自由度误差运动的光学技术

DOI：
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
1.9
作者：
Hiroshi Murakami; Norio Kawagoishi; Eiji Kondo; Akira Kodama
通讯作者：
Akira Kodama

Simple and Simultaneous Measurement of Five-Degrees-of-Freedom Error Motions for a Micro High-Speed Spindle

微型高速主轴五自由度误差运动的简单同步测量

DOI：
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
0
作者：
Hiroshi MURAKAMI; Akio KATSUKI; Takao SAJIMA; Noriya NAKAYAMA
通讯作者：
Noriya NAKAYAMA

Measurement of Five-Degrees-of-Freedom Error Motions for a Micro High-Speed Spindle Using an Optical Technique

利用光学技术测量微型高速主轴的五自由度运动误差

DOI：
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
0
作者：
Hiroshi MURAKAMI
通讯作者：
Hiroshi MURAKAMI

Simple and Simultaneous Measurement of Five-Degrees-of-Freedom Error Motions for a Micro High-Speed Spindle

微型高速主轴五自由度误差运动的简单同步测量

DOI：
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
0
作者：
Hiroshi MURAKAMI
通讯作者：
Hiroshi MURAKAMI

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影响因子：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
YUMIMOTO Keiya;TANAKA Taichu Y.;YOSHIDA Mayumi;KIKUCHI Maki;NAGAO Takashi M.;MURAKAMI Hiroshi;MAKI Takashi
通讯作者：
MAKI Takashi