Single-shot 3D nano surface profilometry by using wide field laser scanning interferometer

使用宽视场激光扫描干涉仪进行单次 3D 纳米表面轮廓测量

• 批准号: 18H01360
• 负责人: NITTA ISAMI
• 金额: $ 11.23万
• 依托单位: Niigata University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2018
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2018-04-01 至 2021-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18H01360/
• 关键词: 広視野計測; レーザ走査干渉計; 広視野レーザ顕微鏡; ワンショット干渉計測; 金属成膜参照板; 振動; ロバスト; ナノ計測; Laser interferometry; Wide field of view; Saw tooth; Single shot; Metal coated reference; Sawtooth

项目成果

広視野シングルショット干渉法によるプラスチック表面の形状計測

使用宽视场单次干涉测量塑料表面的形状

• 发表时间: 2019
• 作者: Isami Nitta;Takuya Sato;Yosuke Tsukiyama;新田勇，佐藤拓也，月山陽介
• 通讯作者: 新田勇，佐藤拓也，月山陽介

振動に強いシングルショットレーザ干渉測定の検討

抗振动单次激光干涉测量的思考

• 发表时间: 2020
• 作者: Ohara Yuta;Tsukiyama Yosuke;Nitta Isami;本田逸人，月山陽介，新田勇;新田勇，月山陽介;新田勇，月山陽介
• 通讯作者: 新田勇，月山陽介

広視野レーザ顕微鏡への光切断法の導入

宽视场激光显微镜引入光学切割方法

• 发表时间: 2021
• 作者: Ohara Yuta;Tsukiyama Yosuke;Nitta Isami;本田逸人，月山陽介，新田勇
• 通讯作者: 本田逸人，月山陽介，新田勇

トライボロジーの評価制御応用展開

摩擦学评价与控制应用开发

• 发表时间: 2021
• 作者: A. Hase;Y. Sato;K. Shinohara;K. Arai;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭，佐藤陽介，篠原圭介，荒井健太郎;長谷亜蘭;飯島廉之，長谷亜蘭;長谷亜蘭;A. Hase;A. Hase;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;飯島廉之，長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;A. Hase;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;今井幸輝，長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;今井幸輝，長谷亜蘭;長谷亜蘭;今井幸輝，長谷亜蘭;長谷亜蘭;今井幸輝，長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;今井幸輝，長谷亜蘭;長谷亜蘭;須賀雄平，長谷亜蘭;長谷亜蘭;A. Hase;須賀雄平，長谷亜蘭;長谷亜蘭，佐藤陽介，篠原圭介，荒井健太郎;長谷亜蘭，佐藤陽介，篠原圭介，荒井健太郎;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;須賀雄平，長谷亜蘭;長谷亜蘭;横川 遼，長谷亜蘭;Alan Hase;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;横川 遼，長谷亜蘭;長谷亜蘭（公益社団法人精密工学会編，分担執筆）;長谷亜蘭（分担執筆，他17名）
• 通讯作者: 長谷亜蘭（分担執筆，他17名）

A novel single shot interferometry with a wide field of view by reference plates coated with various metals

• DOI: 10.1016/j.precisioneng.2018.01.015
• 发表时间: 2018-04
• 期刊: Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
• 影响因子: 3.6
• 作者: Yuta Ohara;Yosuke Tsukiyama;I. Nitta