Profilometry system at nano level for whole cylinder surfaces by laser scanning interferometry technique

采用激光扫描干涉技术的纳米级整个圆柱表面轮廓测量系统

基本信息

  • 批准号:
    26249012
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 27.37万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 财政年份:
    2014
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2014-04-01 至 2017-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(9)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
円筒表面形状のナノレベル測定を目指した広視野レーザ干渉計の開発-円筒面上の微小痕観察による性能評価-
开发以纳米级测量圆柱面形状为目的的宽视场激光干涉仪 - 通过观察圆柱面的微小标记来评价性能 -
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Kimie Tanaka; Masataka Sata; Issei Komuro; Toshiki Saotome; Yamashita Yoshihiro; Tetsuo Asakura;渡辺 敏博,佐久間 俊介,月山 陽介, 新田 勇
  • 通讯作者:
    渡辺 敏博,佐久間 俊介,月山 陽介, 新田 勇
広視野レーザ干渉計を用いた円筒表面におけるナノレベル形状測定の再現性
使用宽视场激光干涉仪对圆柱表面进行纳米级形状测量的再现性
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Masahiko Yoshino;Satoshi Nakajima;Motoki Terano;笹崎 康則,渡辺 敏博,月山 陽介,新田 勇
  • 通讯作者:
    笹崎 康則,渡辺 敏博,月山 陽介,新田 勇
広視野レーザ干渉計を用いた円筒表面ナノ形状測定手法の開発
利用宽视场激光干涉仪开发圆柱表面纳米形状测量方法
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Potejana Potejanasak;Masahiko Yoshino;Motoki Terano;渡辺敏博,佐藤拓也,月山陽介,新田勇
  • 通讯作者:
    渡辺敏博,佐藤拓也,月山陽介,新田勇
Nanoscale measurement of whole cylinder surface with laser microscope with wide field of view
利用宽视场激光显微镜对整个圆柱体表面进行纳米级测量
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Isami Nitta;Yosuke Tsukiyama;Naoyuki Fukushima
  • 通讯作者:
    Naoyuki Fukushima
広視野レーザ走査型干渉計を用いた新規干渉縞パターンの観察
使用宽视场激光扫描干涉仪观察新的干涉条纹图案
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Yusuke Asakura;Nami Hosaka;Shimon Osada;Taichi Terasawa;Atsushi Shimojima;Kazuyuki Kuroda;中西東風,潘渤,渋谷陽二,田中展;笠井 祐那・藤原 章司・土戸 優志・橋本 剛・早下 隆士;新田勇,大原佑太, 月山陽介
  • 通讯作者:
    新田勇,大原佑太, 月山陽介
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  • 通讯作者:
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Nitta Isami其他文献

広視野レーザ顕微鏡への光切断法の導入
宽视场激光显微镜引入光学切割方法
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ohara Yuta;Tsukiyama Yosuke;Nitta Isami;本田逸人,月山陽介,新田勇
  • 通讯作者:
    本田逸人,月山陽介,新田勇
広視野レーザ顕微鏡への光切断法の導入~形状計測範囲の拡大~
将光学切割方法引入宽视场激光显微镜 - 扩大形状测量范围 -
  • DOI:
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ohara Yuta;Tsukiyama Yosuke;Nitta Isami;本田逸人,月山陽介,新田勇;新田勇,月山陽介;新田勇,月山陽介;Isami Nitta,Yosuke Tukiyama;目黒宙,新田勇,月山陽介
  • 通讯作者:
    目黒宙,新田勇,月山陽介
振動に強いシングルショットレーザ干渉測定の検討
抗振动单次激光干涉测量的思考
  • DOI:
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ohara Yuta;Tsukiyama Yosuke;Nitta Isami;本田逸人,月山陽介,新田勇;新田勇,月山陽介;新田勇,月山陽介
  • 通讯作者:
    新田勇,月山陽介
広視野シングルショットレーザ干渉計に及ぼす振動の影響
振动对宽视场单次激光干涉仪的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ohara Yuta;Tsukiyama Yosuke;Nitta Isami;本田逸人,月山陽介,新田勇;新田勇,月山陽介;新田勇,月山陽介;Isami Nitta,Yosuke Tukiyama;目黒宙,新田勇,月山陽介;澤龍介,月山陽介,新田勇;新田勇,月山陽介;渡邉陽介,月山陽介,新田勇
  • 通讯作者:
    渡邉陽介,月山陽介,新田勇
シングルショット干渉法に適した金属薄膜
适用于单次干涉测量的金属薄膜
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ohara Yuta;Tsukiyama Yosuke;Nitta Isami;本田逸人,月山陽介,新田勇;新田勇,月山陽介;新田勇,月山陽介;Isami Nitta,Yosuke Tukiyama;目黒宙,新田勇,月山陽介;澤龍介,月山陽介,新田勇;新田勇,月山陽介;渡邉陽介,月山陽介,新田勇;新田勇,佐藤拓也,月山陽介
  • 通讯作者:
    新田勇,佐藤拓也,月山陽介

Nitta Isami的其他文献

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  • 发表时间:
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  • 作者:
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  • 通讯作者:
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Visualization of adhesion phenomenon connecting nano and macro of rubber friction
连接橡胶摩擦纳米与宏观的粘附现象可视化
  • 批准号:
    21K18670
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 27.37万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Nano-level defect detection technique of sapphire substrate for LED with wide-field view laser microscope
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    16K14144
  • 财政年份:
    2016
  • 资助金额:
    $ 27.37万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

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Single-shot 3D nano surface profilometry by using wide field laser scanning interferometer
使用宽视场激光扫描干涉仪进行单次 3D 纳米表面轮廓测量
  • 批准号:
    18H01360
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    2018
  • 资助金额:
    $ 27.37万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Elucidation of quasi phase image appearance for phase shifting method suitable for wide-field laser microscope
阐明适用于宽视场激光显微镜的相移方法的准相位图像外观
  • 批准号:
    26630037
  • 财政年份:
    2014
  • 资助金额:
    $ 27.37万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Development of 3D-shape measurement technique of an electronic substrate with electronic parts
开发带有电子部件的电子基板的3D形状测量技术
  • 批准号:
    24560289
  • 财政年份:
    2012
  • 资助金额:
    $ 27.37万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Optical frequency scanning microscope to measure the step-height and the deformation of a small specimen.
光频扫描显微镜可测量小样品的台阶高度和变形。
  • 批准号:
    20560030
  • 财政年份:
    2008
  • 资助金额:
    $ 27.37万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
In-process profile measurement system based on a multiple wavelength scanning laser diode
基于多波长扫描激光二极管的在线轮廓测量系统
  • 批准号:
    18560409
  • 财政年份:
    2006
  • 资助金额:
    $ 27.37万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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