Development of a Spiral Ultrasonic Assisted Grinding Technique for High Efficiency and High Quality Machining of Sapphire Wafer

蓝宝石晶片高效高质量加工螺旋超声辅助研磨技术的开发

• 批准号: 25420059
• 负责人: WU YONGBO
• 金额: $ 3.33万
• 依托单位: Akita Prefectural University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2013
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2013-04-01 至 2016-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25420059/
• 关键词: 機械工作; 生産工学; 研削; 超音波; サファイア; LED; 機械工作・生産工学

项目成果

Surface topography of small diameter diamond wheel in ultrasonic assisted grinding,

超声波辅助磨削中小直径金刚石砂轮的表面形貌，

• 发表时间: 2013
• 作者: M. Fujimoto;Y. Wu;M. Nomura;H. Kanai and M. Jin;Surface topography of small diameter diamond wheel in ultrasonic assisted grinding
• 通讯作者: Surface topography of small diameter diamond wheel in ultrasonic assisted grinding

Research on surface formation mechanism in elliptical ultrasonic assisted grinding (EUAG) of monocrystal sapphire using structure function fractal method

结构函数分形法研究蓝宝石单晶椭圆超声辅助磨削（EUAG）表面形成机制

• 发表时间: 2015
• 作者: Qiuyan Wang;Zhiqiang Liang;Xibin Wang;Wenxiang Zhao;Yongbo Wu;Li Jiao and Tianfeng Zhou
• 通讯作者: Li Jiao and Tianfeng Zhou

Fractal analysis of surface topography in ground monocrystal sapphire

研磨单晶蓝宝石表面形貌的分形分析

• DOI: 10.1016/j.apsusc.2014.11.093
• 发表时间: 2015-02-01
• 期刊: APPLIED SURFACE SCIENCE
• 影响因子: 6.7
• 作者: Wang, Qiuyan;Liang, Zhiqiang;Zhou, Tianfeng
• 通讯作者: Zhou, Tianfeng

サファイアウエハのスパイラル超音波援用研削における砥石摩耗特性―ビトリファイドダイヤモンド砥石の作業面トポグラフィ―

蓝宝石晶片螺旋超声辅助磨削中砂轮磨损特性-陶瓷金刚石砂轮工作表面形貌-

• 发表时间: 2014
• 作者: Qiuyan Wang;Zhiqiang Liang;Xibin Wang;Wenxiang Zhao;Yongbo Wu;Li Jiao and Tianfeng Zhou;三浦拓也，呉 勇波，藤本正和，野村光由，梁志強;藤本正和，呉勇波，野村光由，三浦拓也，梁志強
• 通讯作者: 藤本正和，呉勇波，野村光由，三浦拓也，梁志強

A Three-Dimensional Fractal Analysis Method for Ground Monocrystal Sapphire Surface

• DOI: 10.4028/www.scientific.net/amr.1017.187
• 发表时间: 2014-09
• 期刊: Advanced Materials Research
• 作者: Q. Wang;Z. Liang;Xi Bin Wang;Wenjuan Zhao;Y. Wu;L. Jiao;L. Xie