Prozesstechnische Ursachen für das Zustandekommen und die Erzeugung der spezifischen Materialeigenschaften in Abhängigkeit von der Depositgeometrie (A8/9)
取决于沉积几何形状的特定材料特性的出现和生成的与工艺相关的原因 (A8/9)
基本信息
- 批准号：5421360
- 负责人：
- 金额：--
- 依托单位：
- 依托单位国家：德国
- 项目类别：Collaborative Research Centres
- 财政年份：2004
- 资助国家：德国
- 起止时间：2003-12-31 至 无数据
- 项目状态：未结题
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项目摘要
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项目成果
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