Control of Fermi level pinning at surfaces and interfaces of InAlN
InAlN 表面和界面费米能级钉扎的控制
基本信息
- 批准号:24560022
- 负责人:
- 金额:$ 3.49万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2012
- 资助国家:日本
- 起止时间:2012-04-01 至 2015-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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专利数量(0)
Native Oxide Removal from InAlN Surfaces by Hydrofluoric Acid Based Treatment
通过氢氟酸处理去除 InAlN 表面的自然氧化物
- DOI:10.1587/transele.e96.c.686
- 发表时间:2013
- 期刊:
- 影响因子:0.5
- 作者:飯田和貴;横田裕樹;夫恒範;金大貴;T. Nakano and M. Akazawa
- 通讯作者:T. Nakano and M. Akazawa
Investigation of Native Oxide Layers on Untreated and Chemically Treated InAlN Surfaces by X-ray Photoelectron Spectroscopy
- DOI:10.1149/2.004201ssl
- 发表时间:2012
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:M. Akazawa;T. Nakano
- 通讯作者:M. Akazawa;T. Nakano
ALD-Al2O3 絶縁体層を有するInAlN MOS ダイオードの作製手順の検討
ALD-Al2O3绝缘层InAlN MOS二极管制作工艺研究
- DOI:
- 发表时间:2013
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:千葉 勝仁;中野 拓真;赤澤 正道
- 通讯作者:赤澤 正道
Control of Al2O3/InAlN interface by two-step atomic layer deposition combined with high-temperature annealing
两步原子层沉积结合高温退火控制Al2O3/InAlN界面
- DOI:10.7567/jjap.53.04ef06
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:T. Nakano;M. Chiba;and M. Akazawa
- 通讯作者:and M. Akazawa
Effect of hydrofluoric acid treatment on InAlN surfaces
氢氟酸处理对InAlN表面的影响
- DOI:
- 发表时间:2012
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:H. Miyake;F. Fukuyo;S. Ochiai;K. Hiramatsu;H. Yoshida;Y. Kobayashi;T. Nakano and M. Akazawa
- 通讯作者:T. Nakano and M. Akazawa
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- 资助金额:
$ 3.49万 - 项目类别:
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$ 3.49万 - 项目类别:
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