Control of Fermi level pinning at surfaces and interfaces of InAlN

InAlN 表面和界面费米能级钉扎的控制

基本信息

  • 批准号:
    24560022
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.49万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2012
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2012-04-01 至 2015-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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Native Oxide Removal from InAlN Surfaces by Hydrofluoric Acid Based Treatment
通过氢氟酸处理去除 InAlN 表面的自然氧化物
  • DOI:
    10.1587/transele.e96.c.686
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0.5
  • 作者:
    飯田和貴;横田裕樹;夫恒範;金大貴;T. Nakano and M. Akazawa
  • 通讯作者:
    T. Nakano and M. Akazawa
Investigation of Native Oxide Layers on Untreated and Chemically Treated InAlN Surfaces by X-ray Photoelectron Spectroscopy
  • DOI:
    10.1149/2.004201ssl
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    M. Akazawa;T. Nakano
  • 通讯作者:
    M. Akazawa;T. Nakano
ALD-Al2O3 絶縁体層を有するInAlN MOS ダイオードの作製手順の検討
ALD-Al2O3绝缘层InAlN MOS二极管制作工艺研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    千葉 勝仁;中野 拓真;赤澤 正道
  • 通讯作者:
    赤澤 正道
Control of Al2O3/InAlN interface by two-step atomic layer deposition combined with high-temperature annealing
两步原子层沉积结合高温退火控制Al2O3/InAlN界面
  • DOI:
    10.7567/jjap.53.04ef06
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    T. Nakano;M. Chiba;and M. Akazawa
  • 通讯作者:
    and M. Akazawa
Effect of hydrofluoric acid treatment on InAlN surfaces
氢氟酸处理对InAlN表面的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    H. Miyake;F. Fukuyo;S. Ochiai;K. Hiramatsu;H. Yoshida;Y. Kobayashi;T. Nakano and M. Akazawa
  • 通讯作者:
    T. Nakano and M. Akazawa
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