ナノインプリントにおける樹脂流動挙動の解明とロールナノインプリントへの応用

纳米压印中树脂流动行为的阐明及其在卷式纳米压印中的应用

基本信息

批准号：
12J07387
负责人：
海野徳幸
金额：
$ 2.53万
依托单位：
Tokyo University of Science
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2012
资助国家：
日本
起止时间：
2012-04-01 至 2015-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-12J07387/
关键词：
μ-DHPTV ナノインプリント UV硬化性樹脂離型処理

项目摘要

本研究では、ナノインプリントモールド内における樹脂の微小領域流れの把握を目的としている。本年度は、昨年度フィンランド・VTT Technical Research Centre of Finland（以下VTT）において熱ロールナノインプリント応用に関する研究を行った結果を精査し取りまとめた。原子間力顕微鏡による観察の結果、ナノスケール寸法のモールドとマイクロスケール寸法のモールドを用いた際の熱ロールナノインプリント転写結果にはパターンの充填特性に大きな違いが見られることを明らかにした。これらの結果は、Journal of Vacuum Science & Technology Bに投稿の結果、査読付き論文として受理された。当初は、熱ナノインプリントに対してもmicro-DHPTV法を応用する予定であったが原子間力顕微鏡による観測によって上記の傾向を明らかにすることに成功したので、本年度は更にUV硬化性樹脂流動挙動を詳細に観察することとした。具体的には、UVナノインプリント時において基板と樹脂を加熱することによってその流動がどのように変化するのかを調べた。結果、基板温度が高いほど同荷重にてナノインプリントした際に膜厚が薄くなる傾向が確認できた。これらの結果は査読付き国際会議であるThe 15th International Heat Transfer Conferenceにて採択され発表を行った。加えて、より小さな粒子直径のPTV観察手法として全反射蛍光顕微鏡に着目し、その3次元位置特定に必要な校正プレートの新たな作製手法を確立した。こちらの結果も、査読付き論文誌Microelectronic Engineering投稿後受理された。以上を含め、本年度は査読付き論文誌計３報と、国内学会４件、国際学会２件の計６件の発表を行った。

这项研究的目的是了解纳米压印模具内小区域内树脂的流动。今年，我们对芬兰VTT技术研究中心（以下简称VTT）去年进行的热辊纳米压印应用研究成果进行了梳理和总结。使用原子力显微镜观察的结果表明，当使用纳米级尺寸的模具和微米级尺寸的模具时，热辊纳米压印转印结果之间的图案填充特性存在很大差异。这些结果已提交给 Journal of Vacuum Science & Technology B 并被接受为同行评审论文。最初，我们计划将微型DHPTV方法应用于热纳米压印，但由于我们通过使用原子力显微镜的观察成功地阐明了上述趋势，因此今年我们决定进一步研究UV固化树脂的流动行为。详细观察它。具体来说，我们研究了在紫外纳米压印过程中加热基板和树脂时流量如何变化。其结果确认，在相同负载下进行纳米压印时，基板温度越高，膜厚越薄。这些结果被同行评审的国际会议第 15 届国际传热会议接受并公布。此外，我们重点关注全内反射荧光显微镜作为较小粒径的PTV观察方法，并建立了制作三维位置确定所需的校准板的新方法。这一结果在提交给同行评审期刊《微电子工程》后也被接受。包括上述在内，今年我们总共做了六次报告：三篇同行评审期刊论文、四场国内会议和两次国际会议。