ナノプリントによる金属ナノ配線技術の確立とフレキシブル電子デバイスへの応用

利用纳米印刷建立金属纳米线技术及其在柔性电子器件中的应用

基本信息

批准号：
09J03226
负责人：
海野徳幸
金额：
$ 1.34万
依托单位：
Tokyo University of Science
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2009
资助国家：
日本
起止时间：
2009 至 2011
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は、ハードスタンプを用いたコンタクトプリントによって、透明基板であるプラスチック上に対して金属微細パターンを形成し加工する技術を確立することを目的としている。本年度の目標は、プラスチック基板上に形成した金属微細パターンを更に変形させる手法を確立することであった。まず、効率的にプラスチック基板上に金属パターンを形成する技術として、レプリカモールドを用いたナノトランスファープリントに関する研究を行った。ここでは、前年度までに考案した酸化金属離型膜がプラスチックレプリカモールドに対して有効であるかどうかを研究した。結果、酸化クロム離型膜をシクロオレフィンポリマーにて作成したレプリカモールドに適用することで、従来困難であったプラスチックレプリカモールドからの微細金属パターンの転写が可能になることを明らかにした。従来、ナノトランスファープリントはポリジメチルシロキサンと呼ばれる材料に依存した系であったが、本結果により、他のプラスチックレプリカモールドでもナノトランスファープリントが行えるようになった。本研究の結果はベルリン(ドイツ)にて行われたThe 37th Intemational Conference on Micro-and Nano-Engineeringにて発表を行いその後Microelectronic Engineeringに投稿した。次に、プラスチック基板上に作成した金属微細パターンを更に追加工するプロセスについて検討した。ここでは、プラスチック基板を加熱後引っ張ってパターンを変形させる手法をとった。結果、初期のラインアンドスペース金属パターンよりもスペース幅の大きなパターンを形成することに成功した。本手法を適用すれば、高機能な透明電極シートなどの作製がより簡易になると考えている。

本研究的目的是建立一种通过使用硬印模的接触印刷在透明塑料基材上形成和加工精细金属图案的技术。我们今年的目标是建立一种方法，使塑料基材上形成的精细金属图案进一步变形。首先，我们对使用复制模具的纳米转移印刷进行了研究，作为在塑料基材上有效形成金属图案的技术。在这里，我们调查了前一年设计的金属氧化物脱模膜是否对塑料复制品模具有效。结果表明，通过将氧化铬脱模膜应用到由环烯烃聚合物制成的复制模具上，可以从塑料复制模具上转印精细的金属图案，这在以前是很困难的。传统上，纳米转移印刷依赖于一种称为聚二甲基硅氧烷的材料，但这些结果使得使用其他塑料复制品模具进行纳米转移印刷成为可能。该研究成果在德国柏林举行的第37届国际微纳米工程会议上发表，随后提交给微电子工程学会。接下来，我们研究了进一步加工在塑料基材上创建的精细金属图案的过程。在这里，我们采用了一种方法，通过加热塑料基板然后拉伸它来使图案变形。结果，他们成功地形成了比最初的线和空间金属图案具有更大空间宽度的图案。我们相信，应用这种方法将更容易生产高功能的透明电极片。